汚染管理｜検査・計測

汚染管理とは、ウェーハや製造環境に付く金属・有機物・酸やアルカリのガスなどの汚染を測り、許される水準以下に保つ活動である。微量金属の測定にはICP-MS（誘導結合プラズマ質量分析）などが使われる。分子状の汚染は空気や薬液を通って表面に届く。クリーンルームの空気や薬液も管理の対象になる。