計測検査・計測
計測（メトロロジー）とは、ウェーハ上の線幅・膜厚・層間の重ね合わせ・表面形状などを数値として測る工程であり、シート抵抗などの電気特性や材料の組成・状態を調べる測定も含む。異常の有無や位置を返す検査と違い、工程が設計値からどれだけずれたかを連続量で示すので、その値を後続ウェーハの露光量や加工時間を補正する制御量として使える。対象ごとに手法が分かれ、CD-SEM、OCD、膜厚計測、オーバーレイ計測、四探針法などがある。
分類上の位置
Section titled “分類上の位置”検査・計測の下にある工程で、同じ分類にはほかに4工程がある。
- CD-SEM（測長SEM）：CD-SEM（測長SEM）とは、細く絞った電子線でウェーハ上のパターンを走査し、得られた像から線幅や穴の径を自動で測る装置、またそれによる寸法計測である。
- オーバーレイ計測（重ね合わせ計測）：オーバーレイ計測（重ね合わせ計測）とは、上下に積み重ねた層どうしのパターンが、水平方向にどれだけ位置ずれしているかを測る工程である。
- 膜厚計測：膜厚計測とは、ウェーハの上に成膜した膜の厚さを測る工程である。
- OCD（光学式寸法計測）：OCD（光学式寸法計測）とは、ウェーハ上の周期パターンに光を当て、返ってきた回折光のスペクトルから線幅・高さ・側壁角といった立体形状を逆算する計測である。
- AFM（原子間力顕微鏡）計測：AFM（原子間力顕微鏡）計測とは、鋭い探針を試料表面のごく近くまで寄せ、両者の間に働く原子間力を検出しながら走査して、表面の三次元形状を測る計測である。
- 材料・表面分析：材料・表面分析とは、ウェーハや素子の一部を対象に、そこにある元素・化学結合・結晶状態・機械的性質などを調べる分析の総称である。
- 四探針法（シート抵抗測定）：四探針法（シート抵抗測定）とは、一直線に並べた4本の針を試料表面に当て、両端の針に電流を流しながら中側の針の間の電圧を読んで、薄い層のシート抵抗を求める測定法である。
- インライン電気試験：インライン電気試験とは、製品の完成を待たずに、製造工程の途中でシート抵抗などの電気的な値を測り、工程の状態を把握する試験である。
- in-situ計測：in-situ計測とは、基板を処理装置の外へ搬送せず、処理中の装置の中で膜厚や反応の進み具合などの状態を測る方法である。
- TLM（伝送線路モデル法）：TLM（伝送線路モデル法）とは、間隔を変えて並べた電極の組の間の抵抗を測り、金属と半導体の接触抵抗と半導体層のシート抵抗を分けて求める測定法である。
- ウェーハ評価装置
- ライフタイム測定器
- ウェーハ形状計測装置（平坦度・反り）