OCD（光学式寸法計測）検査・計測 › 計測
OCD（光学式寸法計測）とは、ウェーハ上の周期パターンに光を当て、返ってきた回折光のスペクトルから線幅・高さ・側壁角といった立体形状を逆算する計測である。スキャトロメトリとも呼ばれる。ウェーハを切らずに速く測れるため、加工の前後でインラインの工程モニタとして形の変化を捉え、加工条件の補正へ渡す。像から直接寸法を読むCD-SEMに対し、形状モデルとスペクトルの照合で形を推定する点が違う。
分類上の位置
Section titled “分類上の位置”計測の下にある工程で、同じ分類にはほかに9工程がある。
- OCD計測装置（光学式寸法計測装置）
同じ分類の工程
Section titled “同じ分類の工程”CD-SEM（測長SEM）、オーバーレイ計測（重ね合わせ計測）、膜厚計測、AFM（原子間力顕微鏡）計測、材料・表面分析、四探針法（シート抵抗測定）、インライン電気試験、in-situ計測、TLM（伝送線路モデル法）