AFM（原子間力顕微鏡）計測検査・計測 › 計測
AFM（原子間力顕微鏡）計測とは、鋭い探針を試料表面のごく近くまで寄せ、両者の間に働く原子間力を検出しながら走査して、表面の三次元形状を測る計測である。上から像を撮るCD-SEMなどが得意とするのは平面方向の寸法であり、凹凸の高さや溝の深さを直接測りたいときに使う。その代わり一度に測れる範囲は狭く、捉えられる形の細かさは探針の先端形状で決まる。
分類上の位置
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計測の下にある工程で、同じ分類にはほかに9工程がある。
- AFM（原子間力顕微鏡）
同じ分類の工程
Section titled “同じ分類の工程”CD-SEM（測長SEM）、オーバーレイ計測（重ね合わせ計測）、膜厚計測、OCD（光学式寸法計測）、材料・表面分析、四探針法（シート抵抗測定）、インライン電気試験、in-situ計測、TLM（伝送線路モデル法）