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インライン電気試験|検査・計測 › 計測

インライン電気試験とは、製品の完成を待たずに、製造工程の途中でシート抵抗などの電気的な値を測り、工程の状態を把握する試験である。最終試験まで待つと、その間に同じ条件で流した製品が同じずれを抱えたまま進むため、途中で測った値を前の工程の条件へ返して早く直す。寸法を測る計測と違い、狙った電気特性に届いたかを直接確かめられる。

工程の分類›検査・計測›計測› インライン電気試験

計測の下にある工程で、同じ分類にはほかに9工程がある。

CD-SEM(測長SEM)、オーバーレイ計測(重ね合わせ計測)、膜厚計測、OCD(光学式寸法計測)、AFM(原子間力顕微鏡)計測、材料・表面分析、四探針法(シート抵抗測定)、in-situ計測、TLM(伝送線路モデル法)