オーバーレイ計測（重ね合わせ計測）｜検査・計測 › 計測

オーバーレイ計測（重ね合わせ計測）とは、上下に積み重ねた層どうしのパターンが、水平方向にどれだけ位置ずれしているかを測る工程である。各層のパターンが単独で正しくても、上下の位置が合わなければビアが下の配線から外れて抵抗が上がったり断線したりするため、測ったずれを補正量として露光装置へ返す。線幅を測る寸法計測とは別に、層と層の位置関係そのものを対象にする点が特徴である。