TLM（伝送線路モデル法）検査・計測 › 計測
TLM（伝送線路モデル法）とは、間隔を変えて並べた電極の組の間の抵抗を測り、金属と半導体の接触抵抗と半導体層のシート抵抗を分けて求める測定法である。2本の電極で1回測るだけでは両者が混ざり、電流が電極の端に集中して流れるため、単純に電極面積で割ると接触抵抗率を誤る。電極間距離に対する抵抗の変化を直線で外挿し、その切片と傾きから両方の値を取り出す。
分類上の位置
Section titled “分類上の位置”計測の下にある工程で、同じ分類にはほかに9工程がある。
同じ分類の工程
Section titled “同じ分類の工程”CD-SEM（測長SEM）、オーバーレイ計測（重ね合わせ計測）、膜厚計測、OCD（光学式寸法計測）、AFM（原子間力顕微鏡）計測、材料・表面分析、四探針法（シート抵抗測定）、インライン電気試験、in-situ計測