CD-SEM（測長SEM）検査・計測 › 計測
CD-SEM（測長SEM）とは、細く絞った電子線でウェーハ上のパターンを走査し、得られた像から線幅や穴の径を自動で測る装置、またそれによる寸法計測である。リソグラフィやエッチングの後に寸法が目標どおりに仕上がったかを確かめ、工程の状態を判断する物差しになる。走査電子顕微鏡が持つ観察・分析・測長の機能のうち測長に特化した装置で1、光のスペクトルから形を逆算するOCDと違い、パターンを像として直接見て測る。
分類上の位置
Section titled “分類上の位置”計測の下にある工程で、同じ分類にはほかに9工程がある。
- 測長SEM（CD-SEM）
同じ分類の工程
Section titled “同じ分類の工程”オーバーレイ計測（重ね合わせ計測）、膜厚計測、OCD（光学式寸法計測）、AFM（原子間力顕微鏡）計測、材料・表面分析、四探針法（シート抵抗測定）、インライン電気試験、in-situ計測、TLM（伝送線路モデル法）
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