四探針法（シート抵抗測定）｜検査・計測 › 計測

四探針法（シート抵抗測定）とは、一直線に並べた4本の針を試料表面に当て、両端の針に電流を流しながら中側の針の間の電圧を読んで、薄い層のシート抵抗を求める測定法である。電流を流す針と電圧を測る針を分けることで、針と表面の接触抵抗を測定値から除ける。製造現場では、イオン注入とアニールの後や成膜の後に、層が目標どおりの電気特性になったかを確かめるのに使う。