膜厚計測検査・計測 › 計測
膜厚計測とは、ウェーハの上に成膜した膜の厚さを測る工程である。膜を壊さずに厚さが設計どおりかを確かめ、膜の組成や成膜条件が変わったときにそれを見張るために行う。量産では断面を切る方法は使いにくいため、光を当てて返ってきた光の変化から厚さを逆算する方式が中心で、代表的な手法に偏光の変化を使うエリプソメトリがある。この方式では厚さは屈折率と組になって計算から求まる。
分類上の位置
Section titled “分類上の位置”計測の下にある工程で、同じ分類にはほかに9工程がある。
- エリプソメトリ：エリプソメトリとは、膜に斜めから光を当て、反射の際に生じる偏光状態の変化を測って、膜の厚さと屈折率を求める光学的な計測法である。
- 膜厚計
- 触針式段差計（プロファイラ）
同じ分類の工程
Section titled “同じ分類の工程”CD-SEM（測長SEM）、オーバーレイ計測（重ね合わせ計測）、OCD（光学式寸法計測）、AFM（原子間力顕微鏡）計測、材料・表面分析、四探針法（シート抵抗測定）、インライン電気試験、in-situ計測、TLM（伝送線路モデル法）