エリプソメトリ｜検査・計測 › 計測 › 膜厚計測

エリプソメトリとは、膜に斜めから光を当て、反射の際に生じる偏光状態の変化を測って、膜の厚さと屈折率を求める光学的な計測法である。成膜した膜が目標どおりかを、試料を削らずに毎ロット確かめる手段として使われる。断面を切って観察する直接的な方法と違い、得られる厚さは解析で仮定した膜構造のモデルに基づく計算値になる。