プラズマ診断・終点検出｜検査・計測 › 計測 › in-situ計測

プラズマ診断・終点検出とは、エッチングなどの処理中にプラズマの発光などの変化を測り、加工がどこまで進んだかを判断する技術である。同じレシピでも加工の完了時刻は回ごとにずれるため、時間で区切ると下地を削り過ぎるか削り残す。量産で広く使われる終点検出では、削っている膜がなくなる瞬間に生じる発光の変化をとらえてエッチングを止める。