プラズマ表面活性化｜前工程 › 洗浄・表面処理 › 表面改質（表面修飾）

プラズマ表面活性化は、プラズマを当てて接合面や接着面の有機汚染を除き、表面の化学状態を結合しやすい方向へ変える前処理である。ウェーハ同士の接合や接着を、高温をかけずに強くするため、貼り合わせの前に行う。処理が強すぎると表面を損傷するので、汚染の除去と反応性の付与を両立できる条件を選ぶ。