表面改質（表面修飾）前工程 › 洗浄・表面処理
表面改質（表面修飾）は、材料の最表面にある官能基や表面エネルギーを変え、次に塗布・成膜・接合する材料がなじみやすい状態に整える処理の総称である。汚れを除く洗浄だけでは表面の濡れ方や反応性は決まらないため、相手の材料に合わせて最表面を作り込む工程が別に必要になる。代表例に、レジスト塗布の前に表面を疎水化するHMDS（ヘキサメチルジシラザン）プライムと、接合の前に面を結合しやすくするプラズマ表面活性化がある。
分類上の位置
Section titled “分類上の位置”洗浄・表面処理の下にある工程で、同じ分類にはほかに21工程がある。
- HMDS（ヘキサメチルジシラザン）プライム：HMDS（ヘキサメチルジシラザン）プライムは、HMDSを基板表面に作用させて酸化膜表面の水酸基と反応させ、表面を水をはじく疎水性へ変える前処理である。
- プラズマ表面活性化：プラズマ表面活性化は、プラズマを当てて接合面や接着面の有機汚染を除き、表面の化学状態を結合しやすい方向へ変える前処理である。
同じ分類の工程
Section titled “同じ分類の工程”枚葉洗浄、ベベル洗浄・エッチング、低温エアロゾル洗浄、CVC洗浄（化学気相洗浄）、DDC（オゾン水・フッ酸交互洗浄）、DHF（希フッ酸）洗浄、IMECクリーン、IPA乾燥（イソプロピルアルコール乾燥）、メガソニック洗浄、オゾン水洗浄、CMP後洗浄、PERR（エッチング後残渣除去）、成膜前プリクリーン、RCA洗浄、室温四工程洗浄、スピン乾燥、SPM（硫酸過水洗浄）、超臨界CO₂乾燥、二流体洗浄、UVオゾン洗浄、リンス（純水による薬液置換）