スピン乾燥前工程 › 洗浄・表面処理
スピン乾燥は、ウェーハを回転させ、遠心力で表面の水やリンス液を外へ振り切って乾かす工程である。洗浄やリンスの後に液が残るとしみや汚染の原因になるため、回転とガスの供給を組み合わせて液膜を短時間で減らす。液が蒸発するときの毛管力は残るので、倒れやすい微細構造では、IPAへの置換や超臨界乾燥などの別の乾燥方式と比べて選ぶ。
分類上の位置
Section titled “分類上の位置”洗浄・表面処理の下にある工程で、同じ分類にはほかに21工程がある。
同じ分類の工程
Section titled “同じ分類の工程”枚葉洗浄、ベベル洗浄・エッチング、低温エアロゾル洗浄、CVC洗浄（化学気相洗浄）、DDC（オゾン水・フッ酸交互洗浄）、DHF（希フッ酸）洗浄、表面改質（表面修飾）、IMECクリーン、IPA乾燥（イソプロピルアルコール乾燥）、メガソニック洗浄、オゾン水洗浄、CMP後洗浄、PERR（エッチング後残渣除去）、成膜前プリクリーン、RCA洗浄、室温四工程洗浄、SPM（硫酸過水洗浄）、超臨界CO₂乾燥、二流体洗浄、UVオゾン洗浄、リンス（純水による薬液置換）