CVC洗浄（化学気相洗浄）前工程 › 洗浄・表面処理
CVC洗浄（化学気相洗浄）は、ウェーハ表面の金属汚染を蒸気と反応させ、揮発しやすい金属錯体に変えて気相へ運び出す洗浄方式である。金属を液に溶かして流すウェット洗浄と異なり、液体を使わずに金属汚染を除けるのが利点である。除去できるかどうかは金属の種類と反応させる蒸気の組合せで決まり、下地の材料を保ったまま生成物を残さず排気できることも条件になる。
分類上の位置
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洗浄・表面処理の下にある工程で、同じ分類にはほかに21工程がある。
同じ分類の工程
Section titled “同じ分類の工程”枚葉洗浄、ベベル洗浄・エッチング、低温エアロゾル洗浄、DDC（オゾン水・フッ酸交互洗浄）、DHF（希フッ酸）洗浄、表面改質（表面修飾）、IMECクリーン、IPA乾燥（イソプロピルアルコール乾燥）、メガソニック洗浄、オゾン水洗浄、CMP後洗浄、PERR（エッチング後残渣除去）、成膜前プリクリーン、RCA洗浄、室温四工程洗浄、スピン乾燥、SPM（硫酸過水洗浄）、超臨界CO₂乾燥、二流体洗浄、UVオゾン洗浄、リンス（純水による薬液置換）