超臨界CO₂乾燥前工程 › 洗浄・表面処理
超臨界CO₂乾燥は、微細構造の隙間に残ったリンス液をCO₂へ置き換え、温度と圧力を臨界点より上げて液と気体の区別をなくしてから減圧して乾かす工程である。通常の乾燥では、液面が引くときの表面張力による毛管力が細いパターンにかかり、倒壊や貼り付きを起こす。相の境界を横切らない経路で乾かすことでこの力を避けられるため、倒れやすい微細パターンや可動構造に使われる。
分類上の位置
Section titled “分類上の位置”洗浄・表面処理の下にある工程で、同じ分類にはほかに21工程がある。
同じ分類の工程
Section titled “同じ分類の工程”枚葉洗浄、ベベル洗浄・エッチング、低温エアロゾル洗浄、CVC洗浄（化学気相洗浄）、DDC（オゾン水・フッ酸交互洗浄）、DHF（希フッ酸）洗浄、表面改質（表面修飾）、IMECクリーン、IPA乾燥（イソプロピルアルコール乾燥）、メガソニック洗浄、オゾン水洗浄、CMP後洗浄、PERR（エッチング後残渣除去）、成膜前プリクリーン、RCA洗浄、室温四工程洗浄、スピン乾燥、SPM（硫酸過水洗浄）、二流体洗浄、UVオゾン洗浄、リンス（純水による薬液置換）