UVオゾン洗浄前工程 › 洗浄・表面処理
UVオゾン洗浄は、紫外線とオゾンの作用で表面の有機汚染を酸化分解して除くドライ洗浄である。薄い有機物の層を減らすことで、次の塗布や接合に必要な濡れ性と接着性を表面に与える。酸化分解で除けるのは主に有機物なので、金属や無機の粒子には別の洗浄を組み合わせる。
分類上の位置
Section titled “分類上の位置”洗浄・表面処理の下にある工程で、同じ分類にはほかに21工程がある。
同じ分類の工程
Section titled “同じ分類の工程”枚葉洗浄、ベベル洗浄・エッチング、低温エアロゾル洗浄、CVC洗浄（化学気相洗浄）、DDC（オゾン水・フッ酸交互洗浄）、DHF（希フッ酸）洗浄、表面改質（表面修飾）、IMECクリーン、IPA乾燥（イソプロピルアルコール乾燥）、メガソニック洗浄、オゾン水洗浄、CMP後洗浄、PERR（エッチング後残渣除去）、成膜前プリクリーン、RCA洗浄、室温四工程洗浄、スピン乾燥、SPM（硫酸過水洗浄）、超臨界CO₂乾燥、二流体洗浄、リンス（純水による薬液置換）