DDC（オゾン水・フッ酸交互洗浄）前工程 › 洗浄・表面処理
DDC（オゾン水・フッ酸交互洗浄）は、オゾン水の槽とHF・HClの槽を交互に使い、ウェーハ表面の有機物・金属・粒子を室温で除く洗浄方式である。オゾン水で表面に薄い酸化膜を作り、フッ酸系の液でその酸化膜ごと汚染を溶かすという、作る処理と除く処理の繰り返しで性質の違う汚染に対応する。加熱した薬液を使う洗浄に比べて室温で済む一方、槽を移る順番と各槽の薬液状態の管理が欠かせない。
分類上の位置
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洗浄・表面処理の下にある工程で、同じ分類にはほかに21工程がある。
同じ分類の工程
Section titled “同じ分類の工程”枚葉洗浄、ベベル洗浄・エッチング、低温エアロゾル洗浄、CVC洗浄（化学気相洗浄）、DHF（希フッ酸）洗浄、表面改質（表面修飾）、IMECクリーン、IPA乾燥（イソプロピルアルコール乾燥）、メガソニック洗浄、オゾン水洗浄、CMP後洗浄、PERR（エッチング後残渣除去）、成膜前プリクリーン、RCA洗浄、室温四工程洗浄、スピン乾燥、SPM（硫酸過水洗浄）、超臨界CO₂乾燥、二流体洗浄、UVオゾン洗浄、リンス（純水による薬液置換）