DDC洗浄とは

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DDC洗浄（DDC Cleaning）とは、オゾン水を供給する槽とHF・HClを使う槽を交互に利用し、有機物・金属・粒子を除く室温洗浄方式です。酸化膜を作る処理と除く処理を組み合わせます。

室温で複数の汚染を除けますが、槽を移る順番と薬液状態の管理が必要です。単一薬液の濃度を薄める操作ではなく、次の工程が必要とする表面まで作る洗浄として評価します。

DDC洗浄の仕組み

工程の仕組み

DDCはオゾン水を供給する槽Bと、HF・HClを使う槽Aを交互に使います。酸化と酸化膜除去を組み合わせ、有機物・金属・粒子を除きます。

DDC洗浄の工程では¹、オゾン水を供給する槽とHF・HClを使う槽を交互に利用し、有機物・金属・粒子を除く室温洗浄方式です。酸化膜を作る処理と除く処理を組み合わせます。

オゾン水で有機汚染を減らし、HF・HCl処理で酸化膜と金属を除きます。リンスと酸化、酸化膜除去を組み合わせ、最後に保護用の酸化膜を作る処理へつなぎます。

工程の仕組み

酸化と膜の除去によって汚染を減らします。最後に保護用の酸化膜を作り、後工程へ必要な表面へ整えます。

各槽の濃度、液の供給と循環、処理時間、槽間の持ち越しを管理します。酸化膜の形成と除去が狙った順番で起きるか、金属が再付着しないかを確かめます。

処理後は、粒子、有機物、金属、残渣など対象汚染が減ったかを、その工程に合う検査で確かめます。同時に下地膜の減り、表面粗さ、パターン倒れ、再付着も見ます。除去不足を洗浄力だけで補うと材料損傷が増えるため、供給・反応・排出・乾燥のどこで詰まったかを分けます。

DDC洗浄は何をする工程ですか？

オゾン水を供給する槽とHF・HClを使う槽を交互に利用し、有機物・金属・粒子を除く室温洗浄方式です。酸化膜を作る処理と除く処理を組み合わせます。

どの段階で行いますか？

どこを管理しますか？

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