IMECクリーンとは
IMECクリーン（IMEC Clean）とは、有機物の除去、酸化膜の形成と除去、金属汚染の抑制を組み合わせた洗浄工程です。imecが開発した方式で、表面の化学状態を変えながら汚染物を除きます。
酸化と除去を組み合わせると複数の汚染物へ対応できますが、材料ごとの膜の消耗も増えます。水素終端と酸化膜保護のどちらを次の工程が必要とするかで最終処理を選びます。
IMECクリーンの仕組み
Section titled “IMECクリーンの仕組み”IMECクリーンの工程では1、有機物の除去、酸化膜の形成と除去、金属汚染の抑制を組み合わせた洗浄工程です。imecが開発した方式で、表面の化学状態を変えながら汚染物を除きます。
前後の工程と処理順
Section titled “前後の工程と処理順”酸化性の処理で有機物を除き、薄い化学酸化膜を作ります。次に希フッ酸などで膜を除去し、粒子と金属汚染を減らします。必要な保護膜処理を加え、リンスと乾燥へ進みます。
管理する条件
Section titled “管理する条件”薬液の順番と清浄度、酸化膜を作る量と除く量、処理後の表面状態を管理します。個々の液の効果だけでなく、前の処理が次の除去へどうつながるかが重要です。
IMECクリーン後に確認すること
Section titled “IMECクリーン後に確認すること”処理後は、粒子、有機物、金属、残渣など対象汚染が減ったかを、その工程に合う検査で確かめます。同時に下地膜の減り、表面粗さ、パターン倒れ、再付着も見ます。除去不足を洗浄力だけで補うと材料損傷が増えるため、供給・反応・排出・乾燥のどこで詰まったかを分けます。
よくある質問（FAQ）
Section titled “よくある質問（FAQ）”IMECクリーンは何をする工程ですか？
有機物の除去、酸化膜の形成と除去、金属汚染の抑制を組み合わせた洗浄工程です。imecが開発した方式で、表面の化学状態を変えながら汚染物を除きます。
どの段階で行いますか？
酸化性の処理で有機物を除き、薄い化学酸化膜を作ります。次に希フッ酸などで膜を除去し、粒子と金属汚染を減らします。必要な保護膜処理を加え、リンスと乾燥へ進みます。
どこを管理しますか？
薬液の順番と清浄度、酸化膜を作る量と除く量、処理後の表面状態を管理します。個々の液の効果だけでなく、前の処理が次の除去へどうつながるかが重要です。
比較・違いを学ぶ
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- 1SEAJ 半導体製造装置用語集seaj.or.jp ・ 2026年10月12日閲覧 ↩