QDR（急速排水リンス）とは
THEME 02 パターン形成 · 洗浄Quick Dump Rinse
QDR（急速排水リンス）（Quick Dump Rinse）とは、リンス槽の液を急速に排水し、再び新しい純水で満たして薬液を置き換える工程です。流し続けるリンスと異なり、排水と充填を繰り返します。
大量の液を短時間に置き換えられますが、排水中の表面状態が変わります。水の使用量と薬液残りに加え、微細パターンを濡れた状態で保てるかが条件選定の軸です。
QDR（急速排水リンス）の仕組み
Section titled “QDR（急速排水リンス）の仕組み”工程と構造
QDR（急速排水リンス）の工程では1、リンス槽の液を急速に排水し、再び新しい純水で満たして薬液を置き換える工程です。流し続けるリンスと異なり、排水と充填を繰り返します。
前後の工程と処理順
Section titled “前後の工程と処理順”薬液処理後の基板を槽へ置き、純水の充填・排水を繰り返します。槽内に残る薬液を薄めながら排出し、十分な置換後に乾燥へ進みます。
管理する条件
Section titled “管理する条件”工程と構造
排水・充填の時間、繰り返し、液の清浄度と基板の濡れを管理します。排水中に基板が空気へ触れるため、乾燥跡や粒子の再付着も確認します。
QDR（急速排水リンス）後に確認すること
Section titled “QDR（急速排水リンス）後に確認すること”処理後は、表面や槽内の薬液濃度が十分に下がったか、粒子が再付着していないか、次の乾燥へ均一な液膜で渡せるかを確認します。流量を増やすだけでなく、液の置換経路とデッドスペースを見て、必要な純水量とリンス時間を決めます。
よくある質問（FAQ）
Section titled “よくある質問（FAQ）”QDR（急速排水リンス）は何をする工程ですか？
リンス槽の液を急速に排水し、再び新しい純水で満たして薬液を置き換える工程です。流し続けるリンスと異なり、排水と充填を繰り返します。
どの段階で行いますか？
薬液処理後の基板を槽へ置き、純水の充填・排水を繰り返します。槽内に残る薬液を薄めながら排出し、十分な置換後に乾燥へ進みます。
どこを管理しますか？
排水・充填の時間、繰り返し、液の清浄度と基板の濡れを管理します。排水中に基板が空気へ触れるため、乾燥跡や粒子の再付着も確認します。
比較・違いを学ぶ
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- 1SEAJ 半導体製造装置用語集seaj.or.jp ・ 2026年10月12日閲覧 ↩