IPA乾燥（イソプロピルアルコール乾燥）前工程 › 洗浄・表面処理
IPA乾燥（イソプロピルアルコール乾燥）は、洗浄後のウェーハに残った水をIPAへ置き換えてから乾かす乾燥方式である。水がシリコンと接したまま乾くと、ウォーターマークと呼ばれるしみが残るため、置換によって水が表面にとどまる時間を短くする。IPAは水より表面張力が小さく、微細パターンの倒壊を抑える効果もあるが、可燃性の蒸気を扱うので火気の管理が必要になる。
分類上の位置
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洗浄・表面処理の下にある工程で、同じ分類にはほかに21工程がある。
同じ分類の工程
Section titled “同じ分類の工程”枚葉洗浄、ベベル洗浄・エッチング、低温エアロゾル洗浄、CVC洗浄（化学気相洗浄）、DDC（オゾン水・フッ酸交互洗浄）、DHF（希フッ酸）洗浄、表面改質（表面修飾）、IMECクリーン、メガソニック洗浄、オゾン水洗浄、CMP後洗浄、PERR（エッチング後残渣除去）、成膜前プリクリーン、RCA洗浄、室温四工程洗浄、スピン乾燥、SPM（硫酸過水洗浄）、超臨界CO₂乾燥、二流体洗浄、UVオゾン洗浄、リンス（純水による薬液置換）