DHF（希フッ酸）洗浄前工程 › 洗浄・表面処理
DHF（希フッ酸）洗浄は、フッ化水素酸を水で薄めた薬液で、シリコン表面の酸化膜を溶かすウェット洗浄である。シリコンは大気に触れるだけで薄い自然酸化膜を作るため、次の成膜や電気的な接続の前にこの膜を除き、下地のシリコンを露出させておく。薬液は自然酸化膜と残したい絶縁膜を区別せずに溶かすので、処理時間で除去量を制御する。
分類上の位置
Section titled “分類上の位置”工程の分類›前工程›洗浄・表面処理› DHF（希フッ酸）洗浄
洗浄・表面処理の下にある工程で、同じ分類にはほかに21工程がある。
同じ分類の工程
Section titled “同じ分類の工程”枚葉洗浄、ベベル洗浄・エッチング、低温エアロゾル洗浄、CVC洗浄（化学気相洗浄）、DDC（オゾン水・フッ酸交互洗浄）、表面改質（表面修飾）、IMECクリーン、IPA乾燥（イソプロピルアルコール乾燥）、メガソニック洗浄、オゾン水洗浄、CMP後洗浄、PERR（エッチング後残渣除去）、成膜前プリクリーン、RCA洗浄、室温四工程洗浄、スピン乾燥、SPM（硫酸過水洗浄）、超臨界CO₂乾燥、二流体洗浄、UVオゾン洗浄、リンス（純水による薬液置換）