低温エアロゾル洗浄前工程 › 洗浄・表面処理
低温エアロゾル洗浄は、冷却して作った微小な固体粒子をウェーハ表面へ吹き付け、付着した粒子汚染を衝突の力で弾き飛ばすドライ洗浄である。薬液で汚れを溶かすウェット洗浄と違って液を使わないため、後の乾燥工程が要らない。衝突が強すぎると微細な構造を傷めるので、粒子の除去効率と構造の強度の兼ね合いで条件を決める。
分類上の位置
Section titled “分類上の位置”洗浄・表面処理の下にある工程で、同じ分類にはほかに21工程がある。
同じ分類の工程
Section titled “同じ分類の工程”枚葉洗浄、ベベル洗浄・エッチング、CVC洗浄（化学気相洗浄）、DDC（オゾン水・フッ酸交互洗浄）、DHF（希フッ酸）洗浄、表面改質（表面修飾）、IMECクリーン、IPA乾燥（イソプロピルアルコール乾燥）、メガソニック洗浄、オゾン水洗浄、CMP後洗浄、PERR（エッチング後残渣除去）、成膜前プリクリーン、RCA洗浄、室温四工程洗浄、スピン乾燥、SPM（硫酸過水洗浄）、超臨界CO₂乾燥、二流体洗浄、UVオゾン洗浄、リンス（純水による薬液置換）