低温エアロゾル洗浄とは
THEME 02 パターン形成 · 洗浄Cryogenic Aerosol Cleaning
低温エアロゾル洗浄（Cryogenic Aerosol Cleaning）とは、低温の微粒子を表面へ当て、粒子汚染を取り除くドライ洗浄方式です。薬液で溶かす方法と異なり、微粒子の衝突などの物理作用を利用します。
液の乾燥を省ける一方、衝突の強さと構造の強度に制約があります。粒子の除去と有機物の化学的な除去は別の作用なので、汚染の種類へ合う方法を選びます。
低温エアロゾル洗浄の仕組み
Section titled “低温エアロゾル洗浄の仕組み”工程の仕組み
低温エアロゾル洗浄の工程では1、低温の微粒子を表面へ当て、粒子汚染を取り除くドライ洗浄方式です。薬液で溶かす方法と異なり、微粒子の衝突などの物理作用を利用します。
前後の工程と処理順
Section titled “前後の工程と処理順”処理する基板へエアロゾルを供給し、剥がれた汚染物を排気で運び出します。濡らす洗浄と乾燥を組み合わせる代わりに、ドライな処理として前後の工程へつなぎます。
管理する条件
Section titled “管理する条件”作用と排出
供給する粒子と流量、噴射の位置、基板の温度、排気を管理します。取れた粒子が再付着しないことと、細い構造が衝突で損傷しないことを確認します。
低温エアロゾル洗浄後に確認すること
Section titled “低温エアロゾル洗浄後に確認すること”処理後は、粒子、有機物、金属、残渣など対象汚染が減ったかを、その工程に合う検査で確かめます。同時に下地膜の減り、表面粗さ、パターン倒れ、再付着も見ます。除去不足を洗浄力だけで補うと材料損傷が増えるため、供給・反応・排出・乾燥のどこで詰まったかを分けます。
よくある質問（FAQ）
Section titled “よくある質問（FAQ）”低温エアロゾル洗浄は何をする工程ですか？
低温の微粒子を表面へ当て、粒子汚染を取り除くドライ洗浄方式です。薬液で溶かす方法と異なり、微粒子の衝突などの物理作用を利用します。
どの段階で行いますか？
処理する基板へエアロゾルを供給し、剥がれた汚染物を排気で運び出します。濡らす洗浄と乾燥を組み合わせる代わりに、ドライな処理として前後の工程へつなぎます。
どこを管理しますか？
供給する粒子と流量、噴射の位置、基板の温度、排気を管理します。取れた粒子が再付着しないことと、細い構造が衝突で損傷しないことを確認します。
比較・違いを学ぶ
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- 1SEAJ 半導体製造装置用語集seaj.or.jp ・ 2026年10月12日閲覧 ↩