枚葉洗浄前工程 › 洗浄・表面処理
枚葉洗浄は、回転するウェーハに1枚ずつノズルで薬液と純水をかけて洗う方式である。複数枚をまとめて薬液槽に浸すバッチ式では、槽の薬液を全枚が共有するため、あるウェーハから溶け出した汚染が他のウェーハに回る。枚葉式は1枚ごとに新しい薬液を流して排出するので、汚染をその1枚で止められる。回転させながら液を注いで捨てる枚葉スピン洗浄が代表的な形である。
分類上の位置
Section titled “分類上の位置”洗浄・表面処理の下にある工程で、同じ分類にはほかに21工程がある。
- 枚葉スピン洗浄：枚葉スピン洗浄は、回転台に載せたウェーハ1枚にノズルから薬液や超純水を注ぎ、遠心力で液を外周から振り切りながら洗う方式である。
同じ分類の工程
Section titled “同じ分類の工程”ベベル洗浄・エッチング、低温エアロゾル洗浄、CVC洗浄（化学気相洗浄）、DDC（オゾン水・フッ酸交互洗浄）、DHF（希フッ酸）洗浄、表面改質（表面修飾）、IMECクリーン、IPA乾燥（イソプロピルアルコール乾燥）、メガソニック洗浄、オゾン水洗浄、CMP後洗浄、PERR（エッチング後残渣除去）、成膜前プリクリーン、RCA洗浄、室温四工程洗浄、スピン乾燥、SPM（硫酸過水洗浄）、超臨界CO₂乾燥、二流体洗浄、UVオゾン洗浄、リンス（純水による薬液置換）