枚葉スピン洗浄｜前工程 › 洗浄・表面処理 › 枚葉洗浄

枚葉スピン洗浄は、回転台に載せたウェーハ1枚にノズルから薬液や超純水を注ぎ、遠心力で液を外周から振り切りながら洗う方式である。ウェーハに触れた液は注いだそばから流れ去るので、毎回新しい液で洗える。同じ槽に何十枚も浸すバッチ洗浄で起こる汚染の持ち回りを断つのが狙いで、回転は乾かすことより先に、液を外へ運ぶ役を担う。