SCREENスピンスクラバー、毎時枚数約2倍SS-3200、搬送と制御の改良で
スピンスクラバーとは、回転するウェーハの表面から、成膜の後に付いた粒子をブラシや純水のスプレーで物理的に落とす1洗浄装置だ。SCREENによれば、SS-3200はチャンバー数を前の機種SS-3100と同じ8のまま、搬送系と独自のアルゴリズムで処理能力を約2倍の毎時最大800枚にした2。
次のSS-3300Sは、チャンバーを16まで積み、2系統の搬送で毎時最大1,000枚3を処理する。チャンバーは2倍、最大処理能力は1.25倍だ。ただし1,000枚には同じ処理手順で連続運転したときという条件が付き、800枚には条件が書かれていない。SCREENがこの機種で強調するのは、8チャンバーのSS-3200を2台並べるより床面積が27%小さいことだ。
スピンスクラバーは、成膜の後の粒子をブラシで落とす
Section titled “スピンスクラバーは、成膜の後の粒子をブラシで落とす”SCREENは洗浄装置を、枚葉式、バッチ式、スピンスクラバーの3方式に分けて売っている。薬液で汚れを溶かす枚葉式やバッチ式に対して、スピンスクラバーは成膜の後に付いた細かい粒子を、ブラシや純水のNanosprayなどの物理的な方法で落とす1。SS-3200に載るNanosprayは、微細なパターンを傷めずに洗うスプレー洗浄2だとSCREENは説明する。
市場は小さい。SCREENがGartnerの集計をもとに作った図では、2025年のスピンスクラバーの世界市場は約3億ドル（棒グラフから読み取り）で、SCREENのシェアは56%だった4。同じ図から読み取ると、枚葉式洗浄装置の市場は約54億ドルで、SCREENのシェアは34%にとどまる。SCREENが3方式で首位に立つまでの経緯は、SCREENの洗浄事業史で追っている。
SCREENは、SS-3200がチャンバー数を変えずに処理能力を約2倍にしたと説明する
Section titled “SCREENは、SS-3200がチャンバー数を変えずに処理能力を約2倍にしたと説明する”SS-3200の仕様ページによれば、新しい搬送系と独自のアルゴリズムで、処理能力はSS-3100の約2倍の毎時800枚になった2。チャンバー数は前の機種と同じ最大8で、床面積もほぼ変わらない。SS-3100の処理能力は、この記述から計算すると毎時約400枚だ。
SCREENは、枚数が倍になった理由を搬送系とアルゴリズムに置いている。洗浄の水準のほうは、微細化に向けた部品の選定と粒子の管理で上げたと説明する。
SS-3300Sは、チャンバーを2倍にして1.25倍を得た
Section titled “SS-3300Sは、チャンバーを2倍にして1.25倍を得た”SCREENは、2020年12月時点の社内調査をもとに、スクラバーで初めて最大16チャンバーを載せられる基盤と2系統の搬送を備え、業界最高の実用処理能力として毎時最大1,000枚3を掲げる。この1,000枚は、同じ処理手順で連続運転したときの最大値だ。SS-3200の800枚は最大値とだけ書かれ、条件は示されていない。2つの値をチャンバー数で割ると、1チャンバーあたり毎時100枚と62.5枚になる。条件の異なる仕様値どうしの計算だ。
SCREENがこの機種の利点に挙げるのは、床面積とコストだ。SS-3300Sの床面積は、8チャンバーのSS-3200を2台並べた場合より27%小さい3。2台のSS-3200は仕様上毎時1,600枚なので、計算するとSS-3300Sは、その63%の枚数を73%の床面積で処理する。SCREENはこれを、省スペースと高いコスト性能として説明する。
スクラバーとは別の工程の装置として、SCREENは裏面洗浄装置SB-3300も出している。SB-3300は薬液のエッチングとブラシ洗浄を同時に行い、4段に積んだ16チャンバーで、ウェーハの反転を含めて毎時最大700枚5を処理する。SCREENは、ノズルの高密度化と薬液の吐出の制御で均一にエッチングし、ウェーハの反りを抑えるとしている。
SCREENの枚葉洗浄機SU-3400は、24チャンバーで毎時最大1,200枚を掲げる
Section titled “SCREENの枚葉洗浄機SU-3400は、24チャンバーで毎時最大1,200枚を掲げる”SCREENの枚葉洗浄機SU-3400は24チャンバーで毎時最大1,200枚6を掲げる。24で割ると1チャンバーあたり毎時50枚だ。各社の枚葉洗浄機の比較は枚葉洗浄の再現性と処理能力にまとめている。洗浄工程全体の中でスクラバーがどこに入るかは洗浄と表面前処理で、ウェーハの裏面の扱いはウェーハ裏面で説明している。会社の基本データはSCREENの企業研究にある。
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- 1SCREEN：半導体製造工程と各工程の洗浄screen.co.jp ab
- 2SCREEN：スピンスクラバーSS-3200の仕様screen.co.jp abc
- 3SCREEN：スピンスクラバーSS-3300Sの仕様screen.co.jp abc
- 4SCREEN：ファクトブック2026、洗浄装置の市場とシェア（2026年9月）screen.co.jp ↩
- 5SCREEN：裏面洗浄装置SB-3300の仕様screen.co.jp ↩
- 6SCREEN：枚葉式洗浄装置SU-3400の仕様screen.co.jp ↩