SPM（硫酸過水洗浄）前工程 › 洗浄・表面処理
SPM（硫酸過水洗浄）は、硫酸と過酸化水素水を混ぜた薬液で、有機物やレジストを強く分解して落とす洗浄である。混ぜたときの発熱で液が高温になり分解力が増すため、通常の薬液では落ちにくいイオン注入後の硬化したレジストやアッシングの残渣を除くのに使われる。リソグラフィとイオン注入を終えた後、マスクとして使い終えたレジストを剥がす場面で使われることが多い。
分類上の位置
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洗浄・表面処理の下にある工程で、同じ分類にはほかに21工程がある。
同じ分類の工程
Section titled “同じ分類の工程”枚葉洗浄、ベベル洗浄・エッチング、低温エアロゾル洗浄、CVC洗浄（化学気相洗浄）、DDC（オゾン水・フッ酸交互洗浄）、DHF（希フッ酸）洗浄、表面改質（表面修飾）、IMECクリーン、IPA乾燥（イソプロピルアルコール乾燥）、メガソニック洗浄、オゾン水洗浄、CMP後洗浄、PERR（エッチング後残渣除去）、成膜前プリクリーン、RCA洗浄、室温四工程洗浄、スピン乾燥、超臨界CO₂乾燥、二流体洗浄、UVオゾン洗浄、リンス（純水による薬液置換）