HMDS（ヘキサメチルジシラザン）プライム前工程 › 洗浄・表面処理 › 表面改質（表面修飾）
HMDS（ヘキサメチルジシラザン）プライムは、HMDSを基板表面に作用させて酸化膜表面の水酸基と反応させ、表面を水をはじく疎水性へ変える前処理である。親水性の表面にはレジストが密着しにくく、現像などの途中で剥がれやすいため、塗布の前にこの処理で密着を助ける。リソグラフィの流れでは、レジストを塗る工程のすぐ前に置かれる。
分類上の位置
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表面改質（表面修飾）の下にある工程で、同じ分類にはほかに1工程がある。
この工程は、リソグラフィの「フォトレジストの塗布から剥離まで（11工程）」の手順の一部として出てくる。