電子ビームマスク描画装置用のカソード(電極)研究開発<A-5>

業務内容

電子ビームマスク描画装置におけるカソードの機能・製造・運用方法に関する研究開発をお任せいたします。カソードの長寿命化、高輝度化、安定性向上といったテーマに取り組んでいただき、試行錯誤を重ねながら課題解決を進めていただきます。特に長寿命化が最重要テーマとなっており、仮説立案からシミュレーション、検証を通じたPDCAサイクルを回していただきます。開発業務は、主に電子光学設計や機械設計部門と協業しながら業務を進めます。具体的には、下記の業務を担当していただきます。・長寿命化:寿命のモデル化(寿命に関する要因分析と仮説立案)、長寿命化のための設計・試作・評価・高輝度化:大電流密度の研究開発(電極構造・可熱機構の設計・試作・評価、新しい電極材料の探索)・高い安定性の確保:変動原因の究明、解決策の設計・試作・評価・装置サポート:社内装置および客先装置におけるカソードに関連したトラブル対応・カソード開発に付帯する業務:輸出管理に必要なエビデンスの収集、ユニットの安全審査に関わる業務、EOLに伴う部品置き換え作業、開発設備の購入・維持・管理に関わる業務【カソードとは】現代の最先端半導体は、ナノメートル(1ミリの100万分の1)レベルの超微細な回路を描く必要があります。光(レーザー)では波長が大きすぎて描けない細かさになっており、波長が極めて短い「電子の波(電子ビーム)」を使って回路の原版(マスク)を直接削る・描く装置が使われます。(=電子ビームマスク描画装置)その「超極細で超高精度な電子ビーム」を発生させるための絶対的な心臓部が「カソード」です。カソードの性能=装置全体の性能と言えるほど、重要なコアパーツです。【入社後の流れ】入社後まずは真空やカソードの基本的な動作原理や知識を座学で学び、カソードの取り扱いについて法規制を含めて一通り実践していただきます。その後は開発テーマに沿って、他社員とともに業務を進めていただきます。最初は単独で完結できる比較的小さめのタスクを担当していただき、徐々に2~3名で取り組むタスクへと広げていく予定です。将来的には、機械設計や電子光学設計を担当するグループと協業しながら、カソードの開発をリードしていただくことを期待しております。

※カソード開発で必要とされる専門知識・スキルについては、入社後の研修・教育でサポートしますのでご安心ください。

働き方

• 平均残業時間:30h/月・在宅勤務:週一回程度・フレックスタイム制・有給休暇もとりやすい環境です 職場の魅力
• カソードの高輝度化、安定化、長寿命化という世の中で未だ確立されていない最先端の技術を支えている仕事であり、世の中への貢献度でやりがいを感じることができます・カソード開発は特別な知識が必要というより、異なる技術や知識を組み合わせながら一つのものに仕上げていく難しさとやりがいがあります・昨日までわからなかった部分が徐々に解明されていったりと、日々探求心をくすぐられる分野に携わることができます・特にマルチビームシリーズでは、従来のシングルビーム(VSB)と比較してカソードに求められる性能が大きく変化しており、さらなる長寿命化に向けた開発に携わることができます・電子銃だけではなく、それを駆動するための高圧電源や放出された電子を制御する電子光学系も考慮し、実用のシーンも考慮した広い視野が必要とされる開発が魅力的です・技術に対して自由な雰囲気があります。比較的自由な発想で実験や評価を行うことができ、開発を主導的に進める事ができる環境です