Tier B ロジック / デバイス / プロセス統合
Cat-CVD 2026Cat-CVD研究会 / Cat-CVD Workshop
今の状態
- 現在
- 会期終了
- 段階
- 投稿受付前
- 投稿受付中
- 投稿終了
- 採否通知
- プログラム公開
- 開催中
- 終了
- 直近の会期
- 6月18日〜19日開催日本・北九州Former Dalian Route Terminal, Mojiko
- 次の一手
- 次回の日程は公式サイトで発表されます。公式サイト
- 日程
- 要旨締切
- 開催
近い学会との違い
どんな学会？
Cat-CVD（ホットワイヤCVD）に特化した国内の産学研究会で、2004年から毎年開く。装置、膜形成、ラジカルプロセス、デバイス応用を対象とする。
- 位置づけ
- Tier B 国内主要・地域専門・実務主要イベント Tierの基準
- 向いている人
- トランジスタ構造、プロセスインテグレーション、新材料の研究開発者、パワー半導体や化合物半導体のデバイス技術者。国内・地域の大会やテーマを絞った会議で、発表と交流の場です。
- 主なテーマ
-
- HWCVD
- thin films
- passivation
- silicon nitride
- silicon oxide
- SiC
- diamond devices
- radical treatment
- 発表者の所属
- プログラムの筆頭著者の所属（35件） 企業11%大学77%研究機関11% 主な企業：株式会社ExtenD、三菱電機株式会社、株式会社Deevec
公式情報の目次14項目
会期・会場
第23回は2026年6月18日（木）午後から19日（金）午前までの1.5日構成で、会場は北九州市門司区の旧大連航路上屋2階ホールでした。会議の形態は現地参加のみと告知されています。
詳しく（公式資料6項目）
事前参加の締切は2026年6月5日で、参加費は一般・協賛学協会員・協賛広告企業社員・学生で分かれています。
- 2026 会期
- 2026-06-18〜19（1日目午後・2日目午前） 第23回研究会案内
- 2026 会場
- 旧大連航路上屋 ホール（2階） / 福岡県北九州市門司区 第23回プログラム
- 2026 開催形式
- 現地参加のみ 重要なお知らせ（締切・参加費）
- 2026 事前参加申込締切
- 2026-06-05 重要なお知らせ（締切・参加費）
- 2026 事前参加費（一般 / 学生）
- 7,000円 / 2,000円 協賛学協会員・協賛広告企業社員は5,000円。6月6日以降の通常参加は一般10,000円・学生3,000円。 重要なお知らせ（締切・参加費）
- 2026 実行委員長
- 片宗 優貴（九州工業大学） 第23回研究会案内
投稿・締切
投稿は公式サイトの投稿フォームから、配布テンプレートで作った講演概要をPDFで提出する方式です。一般の発表は口頭のみで、学生にはポスター発表が推奨されています（口頭も可）。
査読・選考
発表形式は投稿時に口頭かポスターを申告し、主催側が変更を依頼する場合があります。2026年のプログラム委員は片宗優貴（九州工業大学）と大曲新矢（産総研 九州センター）の2名です。
詳しく（公式資料2項目）
- 発表形式の調整
- 希望形式（口頭/ポスター）を申告し、主催側が変更を依頼する場合あり 投稿案内
- 2026 プログラム委員
- 片宗 優貴（九州工業大学） / 大曲 新矢（産総研 九州センター） Cat-CVD研究会 組織委員会
対象分野
対象はCat-CVD（Hot-Wire CVD）技術の基礎から応用までで、投稿フォームは6つのテーマ区分とその他を選ばせます。研究会案内は、シリコン系に加えて有機系やダイヤモンドなどのカーボン系の膜形成、ラジカルを使った表面改質やドーピングまでを応用先として挙げています。
主なトピック
- Cat-CVD / Hot-Wire装置開発投稿テーマ区分の一つ（区分2）で、Cat-CVD・Hot-Wire装置の開発が対象です。
- HFCVDによるダイヤモンド成長2026年は招待講演2件が、ダイヤモンドのホモエピタキシーや電極応用を取り上げました。
- 原子状水素・ラジカル処理投稿テーマ区分「ラジカル処理」にあたる分野で、ラジカルを用いた表面改質やドーピングが対象に挙げられています。
- SiC表面の窒化Hot-wire法で窒化したSiC表面のXPS分析が、2026年の一般口頭講演として発表されました。
詳しく（公式資料4項目）
プログラム
2026年のプログラムは、招待講演3件、一般口頭講演7件（O01〜O07、オーラルセッション1〜4）、特別セッション、ポスターで構成されました。招待講演は金沢大学・株式会社Deevecの講演者によるもので、特別セッションでは依頼講演2件（Cat-CVD技術に関する国際会議の動向、Q-diaによるダイヤモンド創製）が行われました。
詳しく（公式資料6項目）
ポスターはP01〜P23の23件です。
- 2026 招待講演①
- 中野 正浩（金沢大学）「有機太陽電池の用途開拓と社会実装に向けた研究開発」 第23回研究会案内
- 2026 招待講演②
- 栗原 香（Deevec）「HFCVD装置で作製したホウ素ドープダイヤモンド電極の電気化学センサ応用」 第23回研究会案内
- 2026 招待講演③
- 市川 公善（金沢大学）「HFCVD法を用いたダイヤモンドホモエピタキシーにおける成長モードと金属取り込みの制御」 第23回研究会案内
- 2026 特別セッション（依頼講演）
- 松村 英樹「Cat-CVD技術に関する国際会議の動向」 / 吉武 剛（九州大学）「物理気相成長法によるダイヤモンドの創製：Quenched-produced diamond（Q-dia）」 第23回プログラム
- 2026 ポスター件数
- 23件（P01〜P23、奇数番・偶数番の前後半制） 第23回プログラム
- 2026 一般口頭講演
- O01〜O07の7件（オーラルセッション1〜4） 第23回プログラム
発表と委員会の顔ぶれ
スポンサー・出展（12団体）
- 企業41.7%
- 学会・団体58.3%
- Cat-CVD研究会
- 化学工学会 CVD反応分科会
- 高分子学会
- 電気学会
- 日本表面真空学会
- 応用物理学会
- 応用物理学会 原子層プロセス研究会
- 気相成長株式会社
- 株式会社エイエルエステクノロジー
- テクノリサーチ株式会社
- 株式会社ExtenD
- コミヤマエレクトロン株式会社
委員会・展示
2026年の実行委員会名簿には、アルバック、三菱電機、東京エレクトロン、パナソニック、気相成長の所属者が委員として載っています。協賛企業として気相成長、エイエルエステクノロジー、テクノリサーチ、ExtenD、コミヤマエレクトロンの5社が申込順に並びます。
詳しく（公式資料4項目）
- 2026 実行委員（企業所属の例）
- 株式会社アルバック / 三菱電機株式会社 / 東京エレクトロン株式会社 / パナソニック株式会社 / 気相成長株式会社 Cat-CVD研究会 組織委員会
- 2026 協賛企業（申込順）
- 気相成長株式会社 / 株式会社エイエルエステクノロジー / テクノリサーチ株式会社 / 株式会社ExtenD / コミヤマエレクトロン株式会社 Cat-CVD研究会 組織委員会
- 2026 広告掲載料
- A4全ページ5万円 / A4半ページ3万円（バナー広告1年掲載の特典付き） 広告募集
- 所在国
- 2026年の会場・委員所属はいずれも日本 第23回プログラム
論文の公開
第23回のプログラムはPDFで公式サイトに掲載されており、過去の研究会ページでも第1回から第22回までの各回のプログラムPDFへのリンクが並びます。研究会資料は2026年について冊子版を発行せず電子版のみの配布と広告募集ページに書かれています。
沿革
第1回は2004年5月20〜21日に金沢市の石川県地場産業振興センターで開かれ、発起人は松村英樹氏（北陸先端科学技術大学院大学 名誉教授）です。発起人あいさつは、東京地区をほとんど会場にしない点を研究会の特徴に挙げています。
詳しく（公式資料6項目）
2006年の第3回は長岡技術科学大学、2018年の第15回は国際会議HWCVD10と合同で北九州国際会議場、2020年の第17回はオンライン、2025年の第22回は岐阜市のじゅうろくプラザで開かれました。
- 初回
- 第1回 2004-05-20〜21 / 石川県地場産業振興センター（金沢市） 過去の研究会
- 発起人
- 松村 英樹（北陸先端科学技術大学院大学 名誉教授） Cat-CVD研究会 組織委員会
- 開催地の方針
- 東京地区をほとんど開催場所とせず各地域を巡る Cat-CVD研究会 組織委員会
- 2018 第15回
- 第15回 & HWCVD10 / 2018-09-03〜06 / 北九州国際会議場 過去の研究会
- 2020 第17回
- 2020-07-03 / オンライン開催 過去の研究会
- 2025 第22回
- 2025-06-20 / じゅうろくプラザ（岐阜市） / 実行委員長 伊藤 貴司（岐阜大学） 過去の研究会
近い学会との違い
発起人あいさつは、Cat-CVD法をプラズマを使わずに原料ガスを加熱触媒体で接触分解する薄膜堆積法として、PECVD法と対比して説明しています。関連の国際学会としては公式の関連リンクにICANS、PVSEC、ICDS、IDW、AMFPD、SSDMが並びます。
詳しく（公式資料3項目）
- PECVDとの違い（発起人あいさつ）
- 原料ガスを加熱触媒体との接触分解で分解し、プラズマを使用しない Cat-CVD研究会 組織委員会
- 関連の国際学会（公式リンク）
- ICANS28 / PVSEC-29 / ICDS30 / IDW'19 / AMFPD-19 / ssdm2019 関連リンク
- 国際会議との接点
- 2018年は国際会議HWCVD10と合同開催 過去の研究会
参加・活用
学生の発表はポスター推奨で受け付けられ、参加費にも学生区分（事前2,000円）があります。発起人あいさつは、大学・公共研究機関・企業の研究者と全国の技術者の参加を想定しています。
詳しく（公式資料3項目）
- 想定する参加者
- 大学研究者、公共研究機関研究者、企業研究者、全国の技術者 Cat-CVD研究会 組織委員会
- 2026 学生参加費（事前）
- 2,000円 重要なお知らせ（締切・参加費）
- 地域産業との接点
- 各地域で開くことで地場産業の技術者に技術を知ってもらう機会を作る Cat-CVD研究会 組織委員会
名称・主催
詳しく（公式資料6項目）
- 名称
- Cat-CVD研究会 Cat-CVD研究会 組織委員会
- 主催
- Cat-CVD研究会 Cat-CVD研究会 組織委員会
- 共催
- (公社)化学工学会 CVD反応分科会 Cat-CVD研究会 組織委員会
- 協賛学協会
- 高分子学会 / 電気学会 / 日本表面真空学会 / 応用物理学会 / 応用物理学会原子層プロセス研究会 Cat-CVD研究会 組織委員会
- 開催頻度
- 2004年から毎年開催 第23回研究会案内
- 2026 回次
- 第23回 第23回研究会案内
よくある質問
Cat-CVD研究会の2026年の会期と会場は？
第23回は2026年6月18日（木）・19日（金）に、北九州市門司区の旧大連航路上屋2階ホールで開かれました。形式は現地参加のみです。
投稿には何を提出しますか？
配布テンプレートで作成した講演概要をPDFでアップロードします。
学生はポスター発表ですか？
一般の発表は口頭発表のみで、学生はポスター発表が推奨されています。学生も口頭発表を選べます。
主催と共催はどこですか？
主催はCat-CVD研究会、共催は化学工学会CVD反応分科会です。協賛には高分子学会、電気学会、日本表面真空学会、応用物理学会、応用物理学会原子層プロセス研究会が並びます。
いつから開かれていますか？
第1回は2004年5月20〜21日に金沢市で開かれ、以後毎年開催されています。2026年が第23回です。
公式資料
- Cat-CVD研究会 トップページ 公式サイト
- 第23回研究会案内 公式サイト
- 重要なお知らせ（締切・参加費） 参加登録
- 投稿案内 募集要項
- 第23回プログラム プログラム
- Cat-CVD研究会 組織委員会 委員会
- 過去の研究会 沿革
- 関連リンク 公式サイト
ほか2件
- 広告募集 スポンサー・展示
- English page (HWCVD10) 過去回