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Tier B ロジック / デバイス / プロセス統合

JVSS 2026Annual Meeting of the Japan Society of Vacuum and Surface Science

今の状態

現在
会期終了
段階
  1. 投稿受付前
  2. 投稿受付中
  3. 投稿終了
  4. 採否通知
  5. プログラム公開
  6. 開催中
  7. 終了
直近の会期
9月15日〜17日開催日本・郡山BIG PALETTE FUKUSHIMA
次の一手
次回の日程は公式サイトで発表されます。公式サイト
日程
  1. 要旨締切
  2. Late News締切
  3. 開催

近い学会との違い

  • ISSSBsurface science、vacuum technology、surface/interface characterization、nanomaterials
  • IVCAvacuum systems、dry vacuum pumps、thin film deposition、etching
  • AVSAplasma science、thin films、atomic scale processing、EUV lithography
  • JSAP Spring / AutumnBsemiconductor、applied physics、thin films、photonics
  • PLASMA2017BPlasma science and engineering, plasma processing, fusion plasma, discharge ph…

どんな学会？

日本表面真空学会の年次大会。薄膜、表面分析、真空技術の研究発表と専門部会のセッションがあり、ULVACやEdwardsなど装置企業がスポンサーに名を連ねる。

位置づけ
Tier B 国内主要・地域専門・実務主要イベント Tierの基準
向いている人
トランジスタ構造、プロセスインテグレーション、新材料の研究開発者、リソグラフィ、配線、量産プロセスの技術者。国内・地域の大会やテーマを絞った会議で、発表と交流の場です。
主なテーマ
  • surface analysis
  • vacuum equipment
  • thin-film processing
  • electronic material processing
  • semiconductor devices
  • photonic devices
  • spintronics
  • plasma processing
発表者の所属
2025年 プログラムの筆頭著者の所属（205件） 企業6%大学74%研究機関19% 主な企業：Hitachi High-Tech Corporation、Basic Research Laboratories, NTT, Inc.、HORIBA, Ltd.、JEOL、Kao Corporation
主催
公益社団法人 日本表面真空学会（The Japan Society of Vacuum and Surface Science）
公式情報の目次14項目

会期・会場

2026年の会期は9月15〜17日、会場は福島県郡山市のビッグパレットふくしまです。直近の大会は2025年がつくば国際会議場、2024年が北九州国際会議場、2023年が名古屋国際会議場で、開催地は年ごとに移っています。

詳しく（公式資料5項目）

2020年と2021年はオンラインで開かれました。

2026 会期・会場
2026-09-15〜17 / ビッグパレットふくしま（福島県郡山市） 日本表面真空学会 学術講演会一覧
2025 会期・会場
2025-10-20〜22 / つくば国際会議場 日本表面真空学会 学術講演会一覧
2024 会期・会場
2024-10-20〜24 / 北九州国際会議場（ISSS-10と同時開催） 日本表面真空学会 学術講演会一覧
2023 会期・会場
2023-10-31〜11-02 / 名古屋国際会議場 日本表面真空学会 学術講演会一覧
2021 開催形式
2021-11-03〜05、オンライン開催 日本表面真空学会 学術講演会一覧

投稿・締切

2021年大会では講演申込と予稿の受付を同じ期間に行い、期間は8月2日から9月21日まででした。講演時間は一般講演15分（講演10分＋討論5分）、招待講演は30分（講演25分＋討論5分）です。

詳しく（公式資料4項目）

2021年のポスターはA0サイズの画像データで事前にアップロードする方式でした。

2021 講演申込・予稿受付期間
2021-08-02 13:00〜09-21 17:00 2021年学術講演会 概要
2021 一般講演の時間
15分（講演10分＋討論5分） 2021年学術講演会 講演・企画
2021 招待講演の時間
30分（講演25分＋討論5分） 2021年学術講演会 講演・企画
2021 ポスター形式
A0サイズ、JPGまたはPNG（3MBまで）を事前アップロード 2021年学術講演会 講演・企画

査読・選考

2021年大会ではプログラム委員会が置かれ、NIMSの研究者が委員長を務めました。プログラム委員会には表彰担当の委員がおり、参加登録の案内には講演奨励賞の申込が並んでいます。

詳しく（公式資料3項目）
2021 プログラム委員会 委員長
永村直佳（NIMS） 2021年学術講演会 概要
2021 プログラム委員（表彰担当）
坂本一之（大阪大）、八田振一郎（京都大） 2021年学術講演会 概要
2021 講演奨励賞の申込
参加登録・各種申込の項目に講演奨励賞申込 2021年日本表面真空学会学術講演会 トップ

対象分野

2021年大会の案内は、学術講演会を分野別セッションと部会セッションで構成すると書いています。部会セッションは学会の研究部会が企画し、2021年は放射光表面科学、摩擦の科学、表面分析の各研究部会がテーマを立てました。

主なトピック

  • 表面分析2021年は表面分析研究部会が「最近の表面分析いろいろ」の部会セッションを組みました。
  • 放射光表面科学2021年は放射光表面科学研究部会が「放射光による表面界面の先端的解析：基礎から応用まで」の部会セッションを組みました。
  • Beyond 5G向け高周波デバイス2021年の公募シンポジウムでGaN-HEMTや共鳴トンネルダイオードの講演が組まれました。
  • 真空国際会議との合同開催2022年はIVC-22と共催、2024年はISSS-10と同時開催でした。
詳しく（公式資料4項目）

企画シンポジウムでは宇宙利用の表面研究、公募シンポジウムではBeyond 5G向けの高周波デバイスが取り上げられました。

2021 セッション構成
分野別セッションと部会セッション 2021年学術講演会 概要
2021 部会セッション（表面分析）
表面分析研究部会「最近の表面分析いろいろ：Surface Analysis Miscellaneous Topics」 2021年学術講演会 講演・企画
2021 部会セッション（放射光）
放射光表面科学研究部会「放射光による表面界面の先端的解析：基礎から応用まで」 2021年学術講演会 講演・企画
2021 公募シンポジウム
「表面真空科学の新分野萌芽の土壌としてのBeyond 5G」（GaN-HEMT、共鳴トンネルダイオードなどの講演） 2021年学術講演会 講演・企画

プログラム

2021年大会のプログラムには、橋本幸士氏（京都大）の特別講演「ディープラーニングと物理学」、企画シンポジウム「宇宙を利用した表面研究の展開」、公募シンポジウム、部会セッションが組まれました。部会セッションには摩擦の科学研究部会の「SDGsの実現に向けた摩擦観測と制御」があります。

詳しく（公式資料4項目）

企業企画として企業展示と実用新技術セミナーも設けられています。

2021 特別講演
「ディープラーニングと物理学」橋本幸士（京都大） 2021年学術講演会 講演・企画
2021 企画シンポジウム
「宇宙を利用した表面研究の展開」 2021年学術講演会 講演・企画
2021 企業企画
企業展示、実用新技術セミナー 2021年日本表面真空学会学術講演会 トップ
2021 部会セッション（摩擦）
摩擦の科学研究部会「SDGsの実現に向けた摩擦観測と制御」 2021年学術講演会 講演・企画

発表と委員会の顔ぶれ

2025年 プログラムの筆頭著者の所属（205件）

プログラム

  • 企業5.9%
  • 大学73.7%
  • 研究機関19%

企業

  1. Hitachi High-Tech Corporation2
  2. Basic Research Laboratories, NTT, Inc.1
  3. HORIBA, Ltd.1
  4. JEOL1
  5. Kao Corporation1
  6. Measurement Section,Vacuum Equipment Department,Production Management Headquarters,ULVAC TECHNO,Ltd.1
  7. NuFlare Technology1
  8. Research & Development Group, Hitachi, Ltd.1
  9. TOKYO ELECTRONICS CO., LTD1
  10. Tokyo Instruments, Inc.1
ほか1社
  1. Toray Research Center, Inc.1

国・地域

  1. 日本190
  2. 台湾4
  3. 韓国3
  4. シンガポール2
  5. ドイツ2
  6. 米国2
  7. フィリピン1
  8. 中国1

2025年 委員会の所属（41名）

委員会名簿

  • 企業14.6%
  • 大学58.5%
  • 研究機関24.4%
  • 学会・団体2.4%

企業

  1. AGC Inc.1
  2. Canon Anelva Corporation1
  3. IHI Corporation1
  4. Irie Koken1
  5. Technoport1
  6. TOYAMA1

2025年 スポンサー・出展（68団体）

出展者一覧

  • 企業42%
  • 大学1.4%
  • 学会・団体50.7%
  • Tsukuba Tourism and Convention Association
  • MICE Promotion Council of Ibaraki
  • City of Tsukuba
  • OSAKA VACUUM
  • テクノポート
  • コスモ・テック
  • 東京電子
  • イノベーションサイエンス
  • TSUJI ELECTRONICS
  • NanoAndMore Japan
  • SAES Getters S.p.A.
  • Elminet
ほか56団体
  • テガサイエンス
  • ミラプロ
  • オックスフォード・インストゥルメンツ
  • 日本電子
  • 伯東／クリアライズ
  • AILIN VACUUM
  • エドワーズ
  • ユニソク
  • アールデック
  • 大阪アサヒ商事
  • 三友製作所
  • コミヤマエレクトロン
  • 入江工研
  • 筑波大学 ARIM
  • VISTA
  • ワイテック
  • フィジックステクノロジー
  • 東和工業
  • パスカル
  • トヤマ
  • 東京インスツルメンツ
  • The Japan Society of Vacuum and Surface Science
  • The Society for Chemical Engineers, Japan
  • The Atomic Collision Society of Japan
  • Cryogenics and Superconductivity Society of Japan
  • The Institute of Electrical Engineers of Japan
  • Particle Accelerator Society of Japan
  • The Japan Society of Mechanical Engineers
  • The Japan Institute of Metals and Materials
  • The Japanese Society of Microscopy
  • Atomic Energy Society of Japan
  • The Society of Materials Science, Japan
  • Japan Vacuum Industry Association
  • The Japan Titanium Society
  • The Iron and Steel Institute of Japan
  • Semiconductor Equipment Association of Japan
  • The Physical Society of Japan
  • The Japan Society for Analytical Chemistry
  • The Japanese Society for Synchrotron Radiation Research
  • The Surface Finishing Society of Japan
  • Surface Analysis Society of Japan
  • The Japan Society of Plasma Science and Nuclear Fusion Research
  • American Vacuum Society (AVS)
  • Catalysis and Reaction Engineering Association of Thailand (CREAT)
  • Chinese Vacuum Society (CVS)
  • Czech Vacuum Society (ČVS)
  • Korean Vacuum Society (KVS)
  • Malaysian Institute of Physics (IFM)
  • Materials Research Society of Indonesia (MRS-ID)
  • Physical Society of Indonesia (PSI)
  • Physics Society of the Philippines (SPP)
  • Taiwan Association for Coating and Thin Film Technology (TACT)
  • Taiwan Vacuum Society (TVS)
  • Thin Films Society (TFS)
  • Vacuum Society of Australia (VSA)
  • Vacuum Society of the Philippines (VSP)

委員会・展示

2021年大会は実行委員会とプログラム委員会で運営され、実行委員長は東工大の山崎詩郎氏でした。実行委員会には会場、企業展示、Web・広報、Confit・J-STAGE、予算・会計・庶務の担当が置かれ、企業展示担当には入江工研やシエンタ オミクロンの所属者も入っています。

詳しく（公式資料3項目）
2021 実行委員長
山崎詩郎（東工大） 2021年学術講演会 概要
2021 企業展示担当
入江則裕（入江工研）、大岩烈（シエンタ オミクロン）ほか 2021年学術講演会 概要
2021 実行委員会の担当区分
会場、企業展示、Web・広報、Confit・J-STAGE、予算・会計・庶務 2021年学術講演会 概要

論文の公開

講演要旨集はJ-STAGEで公開されます。学会の要旨集ページの最新は2025年（2025.10）で、表面科学学術講演会時代は2005年の第25回から掲載されています。

詳しく（公式資料3項目）

2021年大会の要旨集は大会後の12月にJ-STAGEで公開されました。

最新の要旨集
2025年（2025.10） 日本表面真空学会 学術講演会要旨集
表面科学学術講演会時代の要旨集
第25回（2005.11）から掲載 日本表面真空学会 学術講演会要旨集
2021 要旨集の公開
J-STAGEで公開（2021-12-29の更新） 2021年日本表面真空学会学術講演会 トップ

沿革

学会の講演会一覧は2017年の第37回表面科学学術講演会と、2018年以降の日本表面真空学会学術講演会を並べています。2022年はIVC-22（第22回真空国際会議）と共催、2024年はISSS-10と同時開催で、国際会議と合わせて開かれる年があります。

詳しく（公式資料4項目）

要旨集の一覧では表面科学学術講演会の第25回（2005年）までさかのぼれます。

日本表面真空学会名での最初の掲載
2018年日本表面真空学会学術講演会（2018.11.19-21） 日本表面真空学会 学術講演会一覧
2022 IVC-22との共催
2022-09-11〜16、IVC-22と共催 日本表面真空学会 学術講演会一覧
IVC-22の会場
札幌コンベンションセンター 日本表面真空学会 国際会議一覧
2020 開催形式
2020-11-19〜21、オンライン開催 日本表面真空学会 学術講演会一覧

近い学会との違い

日本表面真空学会は年次の学術講演会とは別に、表面科学のISSS、スパッタリング・プラズマプロセスのISSP（2026年は6月30日〜7月3日、京都リサーチパーク）などの国際会議を学会ページで案内しています。年次大会は2024年にISSS-10、2022年にIVC-22と合わせて開かれました。

詳しく（公式資料3項目）

ISSS-11は2027年11月に新潟の朱鷺メッセで予定されています。

ISSS-10
第10回表面科学に関する国際シンポジウム（2024.10.20-24 北九州国際会議場） 日本表面真空学会 国際会議一覧
ISSS-11
2027-11-14〜18 / 朱鷺メッセ 日本表面真空学会 国際会議一覧
ISSP2026
第18回スパッタリングおよびプラズマプロセス国際シンポジウム（2026.6.30-7.3 京都リサーチパーク） 日本表面真空学会 国際会議一覧

参加・活用

2021年大会の参加登録費には学生区分があり、学会の学生会員は事前登録3,000円でした。企業向けには、企業展示と実用新技術セミナーが企業企画として組まれ、2021年の企業展示申込は10月15日まででした。

詳しく（公式資料2項目）
2021 学生会員の参加登録費
事前3,000円 / 会期中3,500円 2021年学術講演会 概要
2021 企業展示申込締切
2021-10-15 24:00 2021年学術講演会 概要

名称・主催

詳しく（公式資料4項目）
2026 大会名
2026年日本表面真空学会学術講演会 日本表面真空学会 学術講演会一覧
主催（2021大会ページ）
公益社団法人 日本表面真空学会（The Japan Society of Vacuum and Surface Science） 2021年学術講演会 概要
2017年までの名称
表面科学学術講演会（2017年は第37回） 日本表面真空学会 学術講演会一覧
2021 協賛団体（例）
応用物理学会、電子情報通信学会、日本半導体製造装置協会、日本真空工業会など 2021年学術講演会 概要

よくある質問

2026年の日本表面真空学会学術講演会はいつ・どこで開かれましたか？

2026年9月15〜17日に、福島県郡山市のビッグパレットふくしまで開かれました。

講演要旨集はどこで読めますか？

J-STAGEで公開されており、日本表面真空学会の学術講演会要旨集ページに年ごとのリンクがあります。

表面科学学術講演会との関係は？

学会の講演会一覧には2017年の第37回表面科学学術講演会が並び、2018年以降は日本表面真空学会学術講演会の名で毎年開かれています。

国際会議と合わせて開かれることはありますか？

2022年はIVC-22（第22回真空国際会議）と共催、2024年は北九州国際会議場でISSS-10と同時開催でした。

公式資料

  1. 日本表面真空学会 学術講演会一覧 主催学会
  2. 日本表面真空学会 学術講演会要旨集 論文集
  3. 日本表面真空学会 国際会議一覧 主催学会
  4. 2021年日本表面真空学会学術講演会 トップ 過去回
  5. 2021年学術講演会 概要 過去回
  6. 2021年学術講演会 講演・企画 過去回
  7. 募集要項 募集要項
  8. プログラム プログラム
ほか7件
  1. JVSS 2025 official Confit home 公式サイト
  2. JVSS 2025 committees 公式サイト
  3. JVSS 2025 search presentations プログラム
  4. JVSS 2025 sessions プログラム
  5. JVSS 2025 exhibition sponsors 公式サイト
  6. JVSS 2025 supporting organizers 公式サイト
  7. JVSS 2025 call for abstracts 募集要項