Tier B ロジック / デバイス / プロセス統合
PLASMA2017Plasma Conference / PLASMA2017
今の状態
- 現在
- 次回日程の発表待ち
- 段階
- 投稿受付前
- 投稿受付中
- 投稿終了
- 採否通知
- プログラム公開
- 開催中
- 終了
- 最後の会期
- 2017年11月20日〜24日開催日本・姫路Himeji Chamber of Commerce and Industry
- 次の一手
- 発表論文は論文集で読めます。次回の日程は公式サイトで発表されます。論文集を開く
- 日程
- 要旨締切
- 最終原稿締切
- 開催
近い学会との違い
どんな学会？
応用物理学会、プラズマ・核融合学会、日本物理学会などが2011年から3年ごとに開いた合同会議の2017年姫路の回。プラズマ・核融合学会の年会は、その後も単独で続く。
- 位置づけ
- Tier B 国内主要・地域専門・実務主要イベント Tierの基準
- 向いている人
- トランジスタ構造、プロセスインテグレーション、新材料の研究開発者、パワー半導体や化合物半導体のデバイス技術者。国内・地域の大会やテーマを絞った会議で、発表と交流の場です。
- 主なテーマ
-
- plasma processing
- 発表者の所属
- 2017年 講演者・筆頭著者の所属（581件） 企業2%大学77%研究機関21% 主な企業：STRAWB Inc.、Toshiba、Mitsubishi Electric、Nippon Tungsten、SHINCRON
公式情報の目次14項目
会期・会場
PLASMA2017は2017年11月20日から24日の5日間、兵庫県姫路市の姫路商工会議所で開かれました。20日午後にチュートリアルがあり、基調講演は21日に行われました。
詳しく（公式資料4項目）
会期中は10以上のセッションを並列で開催し、口頭・ポスター発表と企業展示を行いました。公式ページには会議が終了した旨が掲示されています。
- 2017 会期
- 2017-11-20〜24 日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会：Plasma Conference 2017 一般講演の募集
- 2017 会場
- 姫路商工会議所（兵庫県姫路市下寺町43） 日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会：Plasma Conference 2017 一般講演の募集
- 2017 開催の形態
- 5日間・10以上のセッションを並列開催、口頭・ポスター発表と企業展示 PLASMA2017 会議の概要
- 2017 開催状況
- 終了（公式ページの掲示） PLASMA2017 プログラムトップ
投稿・締切
2017年の講演申込は8月4日正午締切で、採否と講演番号は9月初め頃に電子メールで通知されました。予稿は参加学会共通フォーマットの英文2ページで、10月31日正午が提出期限です。
詳しく（公式資料7項目）
発表は日本語が基本で、口頭発表は1件20分（発表15分、質疑5分）の枠でした。
- 2017 講演申込期限
- 2017-08-04 12:00 日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会：Plasma Conference 2017 一般講演の募集
- 2017 採否通知
- 9月初め頃・電子メール 日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会：Plasma Conference 2017 一般講演の募集
- 2017 発表形式・持ち時間
- 口頭・ポスター。口頭は1件20分（発表15分＋質疑5分） 日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会：Plasma Conference 2017 一般講演の募集
- 2017 予稿形式
- 参加学会共通フォーマット・英文2ページ 日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会：Plasma Conference 2017 一般講演の募集
- 2017 予稿提出期限
- 2017-10-31 12:00 日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会：Plasma Conference 2017 一般講演の募集
- 2017 発表言語
- 日本語が基本（発表資料は英語でも可） PLASMA2017 プログラムトップ
- 2017 講演者の資格
- 原則として主催4団体および協賛学会のいずれかの会員 日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会：Plasma Conference 2017 一般講演の募集
査読・選考
講演申込の募集要項は、対象分野で最近行われた学術的に価値のある未発表の研究に限ると定めています。発表の可否と講演番号は9月初め頃に電子メールで通知されました。
詳しく（公式資料3項目）
登録した登壇者名と講演題目はそのままプログラムに掲載され、締切後は変更できません。プログラムにはポストデッドライン講演（PD）の枠もあります。
- 2017 講演の要件
- 最近行われた、学術的に価値のある未発表の研究 日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会：Plasma Conference 2017 一般講演の募集
- 2017 申込内容の扱い
- 登録した登壇者名・講演題目がそのままプログラムに掲載、締切後の変更不可 日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会：Plasma Conference 2017 一般講演の募集
- 2017 ポストデッドライン講演
- ポストデッドライン講演（PD）の枠 PLASMA2017 プログラムトップ
対象分野
公式の開催案内は、国内のプラズマ関連の基礎から応用までを網羅する会議と説明しています。講演は主催4団体ごとのセッション名で受け付け、153委員会枠ではプロセシングプラズマの素過程・モデリング、薄膜・表面プロセス（エッチング、薄膜形成、表面改質）、エレクトロニクス・ナノテクノロジー応用などの細目が並びます。
主なトピック
- プラズマによる薄膜・表面プロセス153委員会枠の細目G6で、エッチング・薄膜形成・表面改質を一括した募集区分です。
- 半導体製造とCarbon2017年のシンポジウム2で、カーボンマスクを使うHARCエッチングや高アスペクト比加工の形状異常を取り上げました。
- 原子レベル制御プラズマプロセス2017年の基調講演で、半導体デバイス向けプラズマプロセスの展望が語られました。
- 大気圧プラズマと触媒反応2017年11月20日のチュートリアル演題で、東京工業大学の野崎智洋氏が演者です。
- 核融合・宇宙プラズマ2017年の基調講演には、University of WisconsinのCary Forest氏による実験室プラズマ天体物理の講演が含まれ、基礎から応用までを一つの会議に集めています。
詳しく（公式資料6項目）
半導体プロセスに関わる研究者には、G6とG7の細目が投稿先の目安になります。
- 会議の対象範囲（2017 開催案内）
- 国内のプラズマ関連の基礎から応用まで PLASMA2017 会議の概要
- 2017 講演申込の区分
- 主催4団体ごとのセッション名で申込 日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会：Plasma Conference 2017 一般講演の募集
- 2017 153委員会枠 細目G1
- プロセシングプラズマにおける素過程・モデリング 日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会：Plasma Conference 2017 一般講演の募集
- 2017 153委員会枠 細目G6
- プラズマによる薄膜・表面プロセス（エッチング，薄膜形成，表面改質） 日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会：Plasma Conference 2017 一般講演の募集
- 2017 153委員会枠 細目G7
- エレクトロニクス・ナノテクノロジー分野へのプラズマ応用 日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会：Plasma Conference 2017 一般講演の募集
- 2017 153委員会枠 細目G4
- 大気圧プラズマ・熱プラズマの生成および応用 日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会：Plasma Conference 2017 一般講演の募集
プログラム
11月21日の基調講演の1件目は、日立ハイテクノロジーズの伊澤勝氏による半導体デバイスの原子レベル制御プラズマプロセスの講演でした。シンポジウム2「半導体製造とCarbon」にはSamsung Electronicsと日立製作所の登壇者が並び、HARCエッチングや高アスペクト比加工の形状異常を取り上げています。
詳しく（公式資料6項目）
11月20日午後のチュートリアルは参加登録者なら無料で聴講でき、会期中は企業展示も開かれました。
- 2017 基調講演（11/21）
- 伊澤 勝（(株)日立ハイテクノロジーズ）「半導体デバイスにおける原子レベル制御プラズマプロセスの展望」 PLASMA2017 基調講演
- 2017 基調講演（11/21）
- Cary Forest（University of Wisconsin）「Laboratory Plasma Astrophysics in the Big Red Plasma Ball」 PLASMA2017 基調講演
- 2017 シンポジウム2（半導体製造とCarbon）講演
- S2-4 Future process vision on HARC etching using carbon mask（Samsung Electronics Co., Ltd.） PLASMA2017 シンポジウム
- 2017 シンポジウム2 講演
- S2-5 高アスペクト比加工における形状異常（㈱日立製作所） PLASMA2017 シンポジウム
- 2017 チュートリアル（11/20 午後）
- 参加登録者は無料で聴講 PLASMA2017 チュートリアル
- 2017 チュートリアル演題
- 大気圧プラズマ と触媒反応（野崎 智洋、東京工業大学） PLASMA2017 チュートリアル
発表と委員会の顔ぶれ
2017年 講演者・筆頭著者の所属（581件）
- 企業1.5%
- 大学77.3%
- 研究機関21.2%
企業
- STRAWB Inc.2
- Toshiba2
- Mitsubishi Electric1
- Nippon Tungsten1
- SHINCRON1
- Tokyo Electronics1
- Toppan Printing1
国・地域
- 日本573
- 米国4
- 台湾3
- オランダ1
2017年 委員会の所属（1件）
大学100%
2017年 スポンサー・出展（60団体）
- 企業50%
- 研究機関3.2%
- 公的機関1.6%
- 学会・団体45.2%
- Division of Plasma Electronics, Japan Society of Applied Physics
- Japan Society of Plasma Science and Nuclear Fusion Research
- Physical Society of Japan, Division 2 (Plasma)
- 153rd Committee on Plasma Materials Science, Japan Society for the Promotion of Science
- Fusion Energy Forum of Japan
- Technical Committee on Plasma Science and Technology, The Fundamentals and Materials Society, IEEJ
- Technical Committee on Pulsed Electromagnetic Energy, IEEJ
- Technical Committee on Electrical Discharge, IEEJ
- Surface Finishing Society of Japan, Materials Function Dry Process Division
- Materials Research Society of Japan
- Institute of Electrostatics Japan
- Ceramic Society of Japan
ほか48団体
- Japan Institute of Metals and Materials
- Iron and Steel Institute of Japan
- Technical Association of Photopolymers, Japan
- Vacuum Society of Japan
- Institute of Engineers on Electrical Discharges in Japan
- Astronomical Society of Japan
- Society of Geomagnetism and Earth, Planetary and Space Sciences
- Laser Society of Japan
- Atomic Energy Society of Japan
- Japan Society of High Pressure Science and Technology
- Surface Science Society of Japan
- Chemical Society of Japan
- Society for Free Radical Research Japan
- Japan Society of Mechanical Engineers
- National Institutes for Quantum and Radiological Science and Technology (QST)
- IOP Publishing
- Athenasys Co., Ltd.
- ULVAC, Inc.
- Andor Technology Ltd.
- Amplitude Japan G.K.
- Innovation Science Co., Ltd.
- AET, Inc.
- Japan Society of Applied Physics
- Ocean Photonics, Inc.
- Optosirius Corporation
- Metal Technology Co., Ltd.
- Clear-Pulse Co., Ltd.
- Kenix Corporation
- Cornes Technologies Ltd.
- Cosmotec Corporation
- SAES Getters S.p.A.
- Springer Nature
- SHINCRON Co., Ltd.
- E.M.D. Corporation
- Takachiho Seiki Co., Ltd. / Leybold Japan
- Teledyne LeCroy Japan Corporation
- Toshiba Energy Systems & Solutions Corporation
- Toshiba Electron Tubes & Devices Co., Ltd.
- Nac Image Technology Inc.
- Nippon Tungsten Co., Ltd.
- Physical Society of Japan
- Hitachi, Ltd.
- Phototechnica Corporation
- Heiwa Electric Co., Ltd.
- Mish International Co., Ltd.
- Mitsubishi Heavy Industries, Ltd.
- Mitsubishi Electric Corporation
- Rad Device Co., Ltd.
委員会・展示
組織委員長は名城大学の平松美根男氏が務めました。組織委員会には大学に加えて凸版印刷、パナソニック、三菱電機の所属者が入っています。
詳しく（公式資料8項目）
企業展示の出展者一覧にはアルバック、日立製作所、東芝エネルギーシステムズなどが並びます。
- 2017 組織委員会委員長
- 平松美根男（名城大学） PLASMA2017 委員会
- 2017 組織委員会 副委員長（企業所属）
- 宇山晴夫（凸版印刷（株）） PLASMA2017 委員会
- 2017 組織委員（企業所属）
- 大熊崇文（パナソニック（株）） PLASMA2017 委員会
- 2017 組織委員（電気学会 放電技術委員会）
- 稲永康隆（三菱電機（株）） PLASMA2017 委員会
- 2017 企業展示 出展者（抜粋）
- (株)アルバック PLASMA2017 企業展示（PDF）
- 2017 企業展示 出展者（抜粋）
- (株)日立製作所 PLASMA2017 企業展示（PDF）
- 2017 企業展示 出展者（抜粋）
- 東芝エネルギーシステムズ(株) PLASMA2017 企業展示（PDF）
- 2017 事務局
- PLASMA2017事務局（プラズマ・核融合学会内） 日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会：Plasma Conference 2017 一般講演の募集
論文の公開
講演予稿は2017年11月14日以降にWeb上の予稿集として公開され、プログラムページはConfitのオンライン予稿集へリンクしています。会議後は全講演者を対象に、IEEE Transactions on Plasma Scienceの特集号とPlasma and Fusion Researchの2誌が原稿を募集しました。
詳しく（公式資料5項目）
- 2017 予稿のWeb公開
- 2017-11-14以降に全予稿をWeb公開 日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会：Plasma Conference 2017 一般講演の募集
- 2017 オンライン予稿集の掲載先
- Confit（https://confit.atlas.jp/plasma2017） PLASMA2017 プログラムトップ
- 2017 特集号
- IEEE Transactions on Plasma Science（Special Issue for Selected Papers from PLASMA 2017） PLASMA2017 特集号について
- 2017 投稿先ジャーナル
- Plasma and Fusion Research [PFR] PLASMA2017 特集号について
- 2017 特集号の対象
- PLASMA2017の全講演者 PLASMA2017 特集号について
沿革
Plasma Conferenceは、2000年から10年間に3回開かれた「プラズマ科学シンポジウム（PSS）」を土台に、2011年に第1回として立ち上がりました。幹事学会は回ごとに替わり、2011年の金沢はプラズマ・核融合学会、2014年の新潟は日本物理学会領域2、2017年の姫路は応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会が務めています。
詳しく（公式資料6項目）
2011年と2014年の回はいずれも1000人を超える参加者を集めたと公式案内は記しています。
- 前身
- プラズマ科学シンポジウム（PSS）（2000年から10年間に3回開催） PLASMA2017 会議の概要
- 第1回（2011）
- 2011年11月・金沢、プラズマ・核融合学会が幹事学会 PLASMA2017 会議の概要
- 2011 会期・会場
- 2011-11-22〜25 / 石川県立音楽堂（金沢市） PLASMA2017 会議の概要
- 第2回（2014）
- 2014年11月・新潟、日本物理学会領域2が幹事学会 PLASMA2017 会議の概要
- 2014 会期・会場
- 2014-11-18〜21 / 朱鷺メッセ（新潟） PLASMA2017 会議の概要
- 2011・2014 参加者規模
- いずれも1000人超 PLASMA2017 会議の概要
近い学会との違い
PLASMA2017は、応用物理学会第35回プラズマプロセシング研究会、プラズマ・核融合学会第34回年会、第30回プラズマ材料科学シンポジウムを兼ねる会議です。日本物理学会2017秋季大会の参加者は、本会議の参加費を払わずに聴講できました。
詳しく（公式資料2項目）
公式案内は、プラズマ基礎科学と工学、応用科学と工学、産業応用の融合の促進を会議の趣旨として書いています。
- 2017 日本物理学会秋季大会との関係
- 秋季大会参加者は本会議を参加費なしで聴講可 日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会：Plasma Conference 2017 一般講演の募集
- 2017 開催趣旨
- プラズマ基礎科学と工学、応用科学と工学、産業応用の融合 PLASMA2017 会議の概要
参加・活用
学生にとっては、会員の参加費が一般20,000円に対し学生4,000円で、日本物理学会領域2の学生優秀発表賞の申請者向け案内も公式ページにあります。企業の調査担当には、半導体製造をテーマにしたシンポジウムの登壇企業と、企業展示の出展者一覧が参加企業の顔ぶれを知る資料になります。
詳しく（公式資料4項目）
保育サービスも用意されていました。
- 2017 参加費（会員・学生）
- 4,000円 日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会：Plasma Conference 2017 一般講演の募集
- 2017 参加費（会員・一般）
- 20,000円 日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会：Plasma Conference 2017 一般講演の募集
- 2017 学生向け表彰の案内
- 日本物理学会領域2の学生優秀発表賞 PLASMA2017 プログラムトップ
- 2017 保育
- 保育サービスを用意 日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会：Plasma Conference 2017 一般講演の募集
名称・主催
詳しく（公式資料8項目）
- 2017 正式名称・略称
- Plasma Conference 2017（PLASMA2017） PLASMA2017 会議の概要
- 2017 幹事学会
- 公益社団法人 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会 日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会：Plasma Conference 2017 一般講演の募集
- 2017 主催（共同主催団体）
- 一般社団法人 プラズマ・核融合学会 日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会：Plasma Conference 2017 一般講演の募集
- 2017 主催（共同主催団体）
- 一般社団法人 日本物理学会・領域2 日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会：Plasma Conference 2017 一般講演の募集
- 2017 新たに加わった主催団体
- 日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会 PLASMA2017 会議の概要
- 2017 兼ねる会合（応用物理学会）
- 応用物理学会第35回プラズマプロセシング研究会 PLASMA2017 会議の概要
- 2017 兼ねる会合（プラズマ・核融合学会）
- プラズマ・核融合学会第34回年会 PLASMA2017 会議の概要
- 2017 兼ねる会合（153委員会）
- 第30回プラズマ材料科学シンポジウム PLASMA2017 会議の概要
よくある質問
Plasma Conferenceはどの学会が主催していますか。
PLASMA2017は応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会（幹事学会）、プラズマ・核融合学会、日本物理学会領域2、日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会の4団体が主催しました。
PLASMA2017はいつ、どこで開かれましたか。
2017年11月20日から24日に、兵庫県姫路市の姫路商工会議所で開かれました。
予稿は何語で、何ページですか。
参加学会共通フォーマットの英文2ページです。
発表は英語で行う必要がありますか。
発表言語は日本語が基本で、発表資料は英語でも良いと案内されています。
会議の論文はどこに載りますか。
予稿はWeb上の予稿集で公開されました。会議後には全講演者を対象に、IEEE Transactions on Plasma Scienceの特集号とPlasma and Fusion Researchが原稿を募集しました。
Plasma Conferenceはいつ始まりましたか。
第1回は2011年11月に金沢でPlasma Conference 2011として開かれ、第2回は2014年11月に新潟で開かれました。
公式資料
- PLASMA2017 会議の概要 公式サイト
- PLASMA2017 プログラムトップ プログラム
- PLASMA2017 基調講演 プログラム
- PLASMA2017 シンポジウム プログラム
- PLASMA2017 チュートリアル プログラム
- PLASMA2017 特集号について 論文集
- PLASMA2017 委員会 委員会
- PLASMA2017 企業展示（PDF） スポンサー・展示