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九州工業大学福岡県・九州

鈴木・パナート研究室

大学院情報工学研究院 知的システム工学研究系(情報工学部 知的システム工学科)

教授 鈴木 恵友准教授 カチョーンルンルアン・パナート

研究内容

  • シリコン・パワー半導体のCMP
  • フラーレン複合型スマート研磨微粒子
  • マイクロパターンパッド
  • 光計測によるCMPモニタリング
  • ナノスケール実時間三次元観測
  • 超伝導援用による磁気浮上中空加工

A以上の学会発表1件 · 2025年

  • 2025年1件

共同研究先2社