東北大学宮城県・東北
田中（秀）研究室（スマートシステム集積学分野）
Tanaka Shuji MEMS Lab
工学研究科 ロボティクス専攻 ナノシステム講座 スマートシステム集積学分野
教授 田中 秀治
研究内容
- MEMS
- 弾性波デバイス(SAW/BAWデバイス)
- 異要素集積化技術
- ウェハレベルパッケージング
- 圧電薄膜と圧電デバイス
- 高性能慣性センサ
卒業生の就職先42組織
企業36
公的研究機関・官公庁1
就職先の出典：mems.mech.tohoku.ac.jp
東北大学宮城県・東北
Tanaka Shuji MEMS Lab
工学研究科 ロボティクス専攻 ナノシステム講座 スマートシステム集積学分野
教授 田中 秀治
就職先の出典：mems.mech.tohoku.ac.jp