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工学院大学東京都・関東

無機表面化学研究室

先進工学部 応用化学科

教授 阿相 英孝

研究内容

  • 半導体ナノ・マイクロファブリケーション
  • GaAs微細加工
  • ウェットプロセス微細加工
  • アノード酸化ポーラス皮膜