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山梨大学山梨県・中部

宇宙に学ぶ新エネルギー材料創製

工学部 先端材料理工学科

准教授 佐藤 哲也

佐藤 哲也: 推定 59〜61歳(1988年学部卒業から推定) 出典

研究内容

  • 低温合成アモルファスシリコン薄膜
  • ダイヤモンド状炭素薄膜(DLC)
  • 半導体プロセス工学
  • プラズマ表面処理
  • 低温トンネル反応