名古屋大学愛知県・中部
プラズマナノプロセス科学グループ（石川研究室）
Plasma Nanoprocess Science group (Ishikawa Tanaka laboratory)
工学研究科 電子工学専攻 未来エレクトロニクス講座
教授 石川 健治
研究内容
- 原子層制御プラズマナノプロセス
- 原子層エッチング
- プラズマ気相計測・インラインモニタリング
- Low-k膜エッチング
- 窒化物半導体の低損傷微細加工
- ナノカーボン材料
卒業生の就職先45組織 · 2007–2020年の掲載
企業42
公的研究機関・官公庁3
就職先の出典：horilab.nuee.nagoya-u.ac.jp