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九州工業大学福岡県・九州

中尾研究室

Nakao Laboratory

大学院工学研究院 基礎科学研究系 量子物理学部門(戸畑キャンパス)

教授 中尾 基

研究内容

  • 半導体洗浄
  • 3C-SiC基板を用いた耐環境デバイス
  • ダイヤモンド薄膜の作製と応用
  • イオン注入によるDLC薄膜形成
  • SAWデバイスのバイオセンサー応用