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兵庫県立大学兵庫県・関西

表面エネルギー化学研究グループ

大学院工学研究科 化学工学専攻(応用化学工学科)

教授 八重 真治

研究内容

  • シリコン半導体ウェットプロセス
  • 金属援用化学エッチング
  • ULSI表面処理
  • 太陽電池用シリコン微細加工

学会論文1本 · 2024年

  • 2024年1本