SemiMapサイト内検索

名古屋大学愛知県・中部

プラズマエレクトロニクス研究グループ 内田・鈴木研究室

Plasma Electronics Lab.

工学研究科 電子工学専攻

教授 内田 儀一郎准教授 鈴木 陽香

内田 儀一郎: 1973年生・53歳 出典

研究内容

  • 低温プラズマ生成・制御
  • プラズマ計測・解析
  • スパッタ成膜(PVD)
  • 電極材料・界面
  • 高アスペクト比構造内の粒子輸送・帯電現象
  • 半導体プロセス応用