LPE（液相エピタキシャル成長）｜前工程 › 成膜 › エピタキシャル成長

LPE（液相エピタキシャル成長）は、成長させたい成分を溶かし込んだ液を単結晶基板に接触させ、液から結晶を析出させて基板と同じ方位の層を育てる方法である。冷却などで溶解度を下げて液を過飽和にし、余った成分を基板上に結晶として出す。気相から原料を送る成長法と違い、液の組成と温度、基板との接触のさせ方が成長を左右するため、液の状態の管理が要になる。