プローブカード・プロービング｜テスト › ウェーハテスト

プローブカード・プロービングとは、針を並べた治具であるプローブカードを、ウェーハ上のチップの電極に正確に当てて、テスタとチップを電気的につなぐ作業である。チップはまだ切り離されておらずパッケージの端子もないため、テスタの信号を届けるには表面の微細な電極へ直接針を当てる必要がある。プローバがウェーハを動かしてチップを順に送り、針の押し込みは強すぎれば電極を傷め、弱すぎれば接触抵抗を上げる。