再プロービングテスト › ウェーハテスト
再プロービングとは、一度測定したウェーハのダイに再びプローブを接触させ、測定をやり直す工程である。初回に不合格となった原因がダイそのものにあるのか、針の接触不良など測定側にあるのかを切り分け、誤判定を減らすために行う。合格するまで繰り返し測る運用では不良を見逃すため、再測定の条件と最終判定の決め方をあらかじめ定めておく。
分類上の位置
Section titled “分類上の位置”ウェーハテストの下にある工程で、同じ分類にはほかに2工程がある。
再プロービングとは、一度測定したウェーハのダイに再びプローブを接触させ、測定をやり直す工程である。初回に不合格となった原因がダイそのものにあるのか、針の接触不良など測定側にあるのかを切り分け、誤判定を減らすために行う。合格するまで繰り返し測る運用では不良を見逃すため、再測定の条件と最終判定の決め方をあらかじめ定めておく。
ウェーハテストの下にある工程で、同じ分類にはほかに2工程がある。