I-V・C-V特性評価｜テスト › デバイス評価

I-V・C-V特性評価とは、半導体素子に電圧をかけて流れる電流（I-V）や、電圧に応じて変わる容量（C-V）を測り、素子の電気的な性質を調べる評価である。I-Vからは導通のしやすさや漏れ電流が、C-Vからは電圧によって変わる容量の振る舞いが分かる。C-Vでは直流のバイアスに小さな交流信号を重ねて容量を求める。配線やプローブの寄生成分も結果に入るため、装置側の影響を試料の特性と分けて扱う。