熱ナノインプリント｜前工程 › リソグラフィ › 露光 › NIL（ナノインプリントリソグラフィ）

熱ナノインプリントは、加熱して軟らかくした樹脂などの材料にモールドを押し当て、冷やして固めてから型を外すことで微細な凹凸を写し取る工程である。紫外光で樹脂を硬化させるUVナノインプリントとは、材料を固める手段が異なる。加熱と冷却に時間がかかり材料の熱履歴も管理が要るうえ、残膜と離型欠陥を抑えて初めて下層へきれいに加工できる。