半導体製造装置部品 静電チャック・電源・センサー
クリエイティブテクノロジー
静電チャックを電源・センサー・修理再生まで一社でそろえる専門メーカー
ウエハを静電気の力で固定する静電チャックの専門メーカーです。
薄膜形成、エッチング、イオン注入、ウエハ検査の装置に入る部品を作り、電源・センサー・修理・再生まで一社で受け持ちます。
クリエイティブテクノロジーは1995年8月から半導体製造装置向け静電チャックを量産している、従業員約260名の 静電チャックと周辺技術の会社 です。 チャック本体に加えて 制御用の直流電源 と静電容量センサーも自社で作り、同じ吸着技術をロボットハンドや搬送具へ広げています。
- 従業員数 約260名 国内約170名、海外約90名
- 焼結セラミック型の寸法 ～12inch 半導体製造装置向け。 樹脂型とコーティング型は寸法をカスタマイズできます
- 静電キャリアの無給電保持 240時間以上 シリコンウエハとガラスで確認した連続吸着の時間
従業員の国内・海外内訳会社概要 · 概数
- 国内約170名
- 海外約90名
この会社の要点
01立ち位置
何の会社として比べるか
1985年7月にセラミック加工の会社として始まり、1995年8月から半導体製造装置向け静電チャックを量産しています。 前工程の装置に入る部品を作り、取引先は半導体メーカー、FPDメーカー、製造装置メーカーです。
従業員の規模
従業員数
半導体製造装置向け静電チャック
前工程の装置と検査ステージでウエハを固定します。 表面材質はポリイミド樹脂、アルミナ系セラミックコーティング、アルミナ系焼結セラミックで、いずれも大気から高真空まで使えます。 吸着方式は材質ごとにクーロン、グラディエント、ジョンソン・ラーベックと異なります。 焼結セラミック型の対応寸法は～12inchです。
- ポリイミド樹脂型
- セラミックコーティング型
- 焼結セラミック型
- 修理・再生
静電チャック用直流電源
静電チャックの制御用に開発した直流高電圧・正負両極出力の電源です。 異常時に電源を切る警報、電源を切ったときの残留電荷を減らすデチャックアシスト、把持力を安定させる極性切替を備えた機種があります。
- CTPS-3KV2AF
- CTPS-2KV2AS
- CT-MMC-P-01
吸着モニターユニット
静電チャックと制御電源の間につなぎ、チャックと対象物の間の静電容量からプロセス異常や対象物の状態を常時見張ります。 チャックや電源の改造なしでつなげられ、デジタル2chとアナログの出力で生産設備とつながります。
- 在荷検出
- 材質識別
- 裏表確認
- 状態監視
イオン注入機向け部品
1995年9月にイオン注入機向け部品の量産を始めました。 2006年11月からは日新イオン機器の純正イオン源部材を直接販売しています。
- イオン注入機向け加工部品
- 純正イオン源部材
- レアメタル素材
静電キャリア
対象物を着け外しするときだけ電源につなぎ、保持中は電源から切り離して使う搬送具です。 吸着したまま大気と真空チャンバーの間を移動できます。 半導体製造装置向けの静電チャックと同じ材料で作り、繰り返し使えます。
- 大気・真空間の搬送
- 薄物ウエハ・ガラス
- 金属箔・フィルム
一般産業向け静電チャック・異物対策
ロボットに合わせたオーダーメイドと標準品で、紙、布、金属箔、リードフレームなどを運び、固定します。
- 樹脂タイプ
- セラミックタイプ
- 標準品 CT-MME-01
02収益
どこで、どれくらい儲けているか
半導体向けの静電チャック本体に、制御電源（2013年2月発売）と静電容量センサー（2014年3月発売）を足し、納入後の修理・再生も受けます。 海外の従業員は約90名で、韓国、台湾、米国、シンガポール、ドイツに子会社があります。
03強みとリスク
強みと、リスク・検討点
静電チャック本体、制御電源、静電容量センサーを一社で作り、吸着・離脱・状態監視の機能をそろえています。
強み
- 半導体向け静電チャックを長く量産
1995年8月に半導体製造装置向け静電チャックの量産を始め、1999年12月には300mm静電チャックを開発しました。 2021年3月には滋賀工場を開き、宮崎工場とあわせて生産しています。
会社概要・沿革・拠点 - チャック・電源・センサーを一社で組める
静電容量センサーは、静電チャックや制御電源を改造せずにつなげられます。 吸着の制御と監視を同じ会社の製品でそろえられます。
吸着モニターユニット - 修理・再生で納入後も顧客とつながる
2000年代前半に静電チャックの再生事業を立ち上げました。 会社は、この事業で世界中の顧客とのつながりを築いたとしています。
公式サイト・新着情報 - 工程と対象物に合わせて材質を選べる
半導体向けはポリイミド樹脂、セラミックコーティング、焼結セラミックから選べます。 樹脂型は導電体・強誘電体に加えて絶縁体も吸着できます。 焼結セラミック型の推奨用途は半導体製造装置で、樹脂型とコーティング型は検査ステージにも使えます。
半導体製造装置向け静電チャック
リスク・検討点
- 取引業種は半導体以外にも及ぶ
取引業種は半導体のほか、FPD、自動車、紡織、総合電機です。 一般産業向けのロボットハンドや、民生品ブランドのatarainaも持っています。
会社概要・沿革・拠点 - 国内・海外の転勤がある
新卒の勤務地は川崎、滋賀、宮崎、各営業拠点のいずれかで、社命による転居を伴う国内・海外の転勤があります。 従業員約260名のうち約90名が海外です。
新卒採用情報 - 標準品は大気環境専用
納期の短い静電チャック標準品は大気環境専用です。 これまで通り、オーダーメイドも受けています。
静電チャック標準品
04待遇
給与、初任給、休日、手当
新卒の月給は大学卒23.5万円、修士25.5万円、博士29万円で、いずれも食事手当1万円を含みます。 年間休日は125日以上です。
05勤務地と職種
どこで、どんな仕事をするか
開発は川崎の本社とR&Dセンター、生産は滋賀工場と宮崎工場です。 営業拠点は四日市、菊池、北上、東広島にあります。
主な勤務地・拠点
- 本社・R&Dセンター / 神奈川県川崎市
- 本社と、かながわサイエンスパーク内のR&Dセンターがあります。
- 工場 / 滋賀県大津市・宮崎県宮崎市
- 滋賀工場は2021年3月に開設しました。 宮崎工場は営業所を兼ねます。
- 営業 / 四日市・菊池・北上・東広島
- 中部支店（四日市）と、熊本・北上・広島の各営業所です。
静電チャック事業の仕事
- 研究
- 設計
- 開発
- 量産
- カスタマイズ
- 修理
- 再生
応募の準備
- 静電チャック、電源、センサー、静電キャリアから関心のある製品を1つ選ぶ
- 研究、設計、試作、検証、提案の経験を、募集職種の仕事内容に合わせて整理する
- 転勤の範囲と、職種ごとの配属先を説明会で質問する
06これから
会社が次に取りにいくもの
半導体で育てた静電吸着を、ロボットハンド、無給電の静電キャリア、標準品、パーティクル対策へ広げています。
これからの材料
無給電で運ぶ静電キャリア
保持中は電源から切り離せるため、長距離の搬送、大気と真空の行き来、回転機構に使えます。 会社は、両面テープやクランプを使ってきた工程の自動化とコスト削減に役立つとしています。 無給電の連続吸着240時間以上は、シリコンウエハとガラスで確認した値です。
標準品で短納期・低コストへ
これまでオーダーメイドだけだった静電チャックに、標準品2種を加えました。 設計済みの品なので低コストで、納期は最短1週間程度です。 自社の全電源と組み合わせられます。
静電吸着を異物対策へ
パーティクルコレクターは空間の埃やパーティクルを静電気で集め、大気と真空の両方で使えます。 クリーンルーム用と真空装置用はサブミクロンの粒子を捕らえます。 金属、樹脂、綿埃など、導電性・絶縁性を問わず捕集できます。
07入口を選ぶ
専攻から、入口を1つに絞る
新卒の職種は研究開発部の電気・制御系と物理系、技術開発部、営業部です。 会社説明会はWebで随時開いています。
面接で使う技術語
- 電気回路
- 組み込み
- 制御
- ロボット
- 機械学習
- 物性
- 材料
- 静電気
- 測定
- 研究
職種は研究開発部・技術開発部・営業部の募集に合わせています。
他社との違いを一言で
- セラミック静電チャックの材質と用途
新光電気工業（SHINKO）
SHINKOはアルミナ製のセラミック静電チャックを、エッチング、アッシング、CVD、PVDの装置向けに作ります。クリエイティブテクノロジーはセラミックに加えてポリイミド樹脂型を持ち、検査ステージ向けにも出しています。
- ヒーター・冷却・RF電極の一体化
日本ガイシ（NGK）
NGKは窒化アルミとアルミナの静電チャックに、ヒーター、冷却板、RF電極を一体化します。クリエイティブテクノロジーはチャックとは別体の制御電源と静電容量センサーも自社製品として持ちます。
- セラミック材料とヒーター
NTKセラテック
NTKセラテックは、アルミナ、溶射アルミナ、窒化アルミのヒーター一体型静電チャックとセラミックヒーターを作ります。クリエイティブテクノロジーは修理・再生や、無給電で運ぶ静電キャリアまで品ぞろえを広げています。
出典14件
- ニュース 公式サイト・新着情報
- 公式 会社概要・沿革・拠点
- 公式 半導体製造装置向け静電チャック
- 公式 静電チャックの吸着原理
- 公式 静電チャック用直流電源
- 公式 吸着モニターユニット
- 公式 ケーブルレス静電チャック
- 公式 埃・パーティクル向け製品