半導体工場の設備・周辺機器 精密装置向け除振装置
特許機器
露光・検査装置と電子顕微鏡の足元の揺れと磁場を抑える除振メーカー
半導体の露光・検査装置や電子顕微鏡を、床の微振動と磁場の乱れから守る振動制御の専業メーカーです。
半導体検査装置などの微振動対策で世界トップクラスのシェアを持つと、会社は説明しています。
特許機器は 空圧アクティブ除振装置 や アクティブ磁場キャンセラー を作る尼崎の会社です。 製品を納めるだけでなく、現場の振動を測って予測し、据え付け後の効果測定まで自社で担います。
- 従業員数 372名 2026年6月1日現在。 技術職の割合は40%
- 年間振動予測件数 2,000件 現場の測定は年1,000件以上
- 特許保有数 144件 2025年5月15日時点。 意匠・特許・実用新案・商標の登録申請は600件
グループ社員の内訳
- 特許機器約350名
- グループ会社約210名
この会社の要点
01立ち位置
何の会社として比べるか
特許機器は、建物から精密装置までの振動を抑える専業メーカーで、半導体では露光・検査装置と電子顕微鏡の除振、電子ビーム装置の磁場対策を担います。 単体の従業員は372名、グループ全体の社員は約560名です。
グループ社員のうち、特許機器の社員がどれくらいか
社員数
知的財産
2025年5月15日時点です。
製造・検査装置向けアクティブ除振
αシリーズは、除振と制振に加えて装置の姿勢を保つユニットです。 100tクラスの大荷重を載せられ、10点以上の多点支持もできます。 除振を重視する装置はLタイプ、除振と制振の両方が要る装置はMタイプ、制振を重視する装置はHタイプと、装置に合わせて選びます。
- αシリーズ（Lタイプ / Mタイプ / Hタイプ）
電子顕微鏡向けアクティブ除振台
走査型電子顕微鏡（SEM/FIB）を載せる低床型の除振台です。 αL4X-911R2は0.5Hzの低い周波数から揺れを抑えます。 6自由度のフィードバックと地面の揺れを使うフィードフォワード制御を組み合わせ、セルフチェック機能で自動調整もできます。
- αL4X-911R2
電子ビーム装置向け磁場対策
自動車やエレベーター、電車が動くと周りの磁場が変わり、電子ビームを使う装置に悪影響が出ます。 AMC-332は高感度の磁場センサで変動をとらえ、ヘルムホルツコイルで逆位相の磁場を出して打ち消します。 制御周波数は準DC～3.5kHzで、用途には電子ビーム描画装置、マスク検査装置、ウエハー観察測長SEMが並びます。
- AMC-332
クリーンルームの床対策
半導体工場のクリーンルームは二重床で、グレーチングの上は大きく揺れます。 高剛性架台は固有振動数を100Hz以上にした架台です。 設置場所と載せる装置に合わせて毎回設計し、施工と検証測定まで行います。
- 高剛性架台
検査装置向けパッシブ除振台
デスク型のDHS / DASは、半導体や液晶基板の大口径化に伴って大きく重くなった検査装置に合わせたラインナップです。 卓上型のTAP / TAPCと大型除振台もそろえています。
- デスク型除振台 DHS / DAS
- 卓上型除振台 TAP / TAPC
- 大型除振台
装置設置環境の調査
精密装置を置く場所が装置の設置環境基準に合うかを評価し、運用中に起きた振動・磁場・音圧の問題も調べて対策を提案します。 建物や床、装置フレームの振動の形を多点同時測定で可視化するモード測定もあります。
- 装置設置環境/障害調査
- 構造物の振動モード測定
02収益
どこで、どれくらい儲けているか
仕事の起点は現場の測定と予測です。 年間2,000件以上の振動予測と1,000件以上の測定から、装置の設計・製造・据え付けへつなげます。
年間の振動予測と現場測定
03強みとリスク
強みと、リスク・検討点
強みは、空圧アクティブ除振を早くから手がけた技術と、測定から効果検証までを一社で担う体制です。 弱みは、半導体向けが製品分野の1つにとどまる点と、部品の生産中止や現場対応の負荷が開発と納入に響く点です。
強み
- 空圧アクティブ除振を早くから手がけた
空圧で制御するアクティブ除振装置を開発し、1988年にセミコンジャパンで世界初の空圧型として発表しました。 1994年には空圧アクティブ除振装置がステッパーに採用され、会社はこれを世界初としています。
会社概要 - 測定から効果検証まで一社で回す
顧客課題のヒアリング、現地調査と提案、設計、生産、品質検査、設置と効果検証、アフターサービスまでを、営業・ソリューション・設計・生産・品質保証・エンジニアリングの職種が分担します。 納める前の調査と、据え付け後の効果測定が仕事の流れに入っています。
採用サイト 仕事の流れと職種 - 振動に加えて磁場も抑えられる
AMC-332の減衰率は60dBです。 会社は、シールドで囲む対策と比べて約1/10のコストだとしています。 半導体製造ラインのSEM応用装置で観察画像にノイズが入った障害の対策事例も載せています。
アクティブ磁場キャンセラー AMC-332 - 案件の起点になる現場データ
年間の振動予測は2,000件以上、測定は1,000件以上で、振動を測った国は10カ国以上です。 技術職の割合は40%です。
採用サイト 早わかり特許機器
リスク・検討点
- 半導体向けは製品分野の1つ
製品はナノテクノロジー対策、構造物対策、設備機器対策、地震対策、床衝撃音対策に分かれます。 半導体工場や研究所の対策はナノテクノロジー対策に入り、ビルや空調設備、非常用発電機の対策と同じ会社の中に並びます。
company_profile - 大型案件はコンペで決まる
数十台規模の除振装置の案件では、顧客が複数の競合にも声をかけ、数社のコンペで発注先を決めました。 限られた工期の中で複数の工事が同時に進み、据え付けの工期はおよそ2ヶ月でした。
採用サイト プロジェクトストーリー 除振装置導入 - 部品の生産中止が供給を止めかけた
現行のコントローラーに使う部品がメーカーの都合で生産中止になり、在庫ではあと1年で現行製品が作れなくなると分かりました。 2年と見込んでいた後継機の開発期間を半分にする必要が生じ、4人の技術者がチームを組みました。
採用サイト プロジェクトストーリー コントローラー開発 - 忙しさは部署と業務で違う
社員アンケートには、残業が多いと感じる声と多くないという声が並び、休日に納品する日が時々あるという回答もあります。 採用担当は、残業や休日出勤、出張の頻度は部署や業務で違うとコメントしています。
採用サイト 本音を紐解くQ&A
04待遇
給与、初任給、休日、手当
2027年新卒の初任給は修士了248,000円、大学卒245,000円です（2025年実績）。 年間休日は125日、月の残業は平均20時間で、標準労働時間は7時間15分です。
新卒の初任給（月給）
- 手当と賞与
- 昇給は年1回（4月）、賞与は年2回（7月、12月）です。 環境計量士（騒音振動）に月額10,000円、公害防止管理者（騒音振動）に月額5,000円の資格手当が付きます。 条件は 2027年新卒 募集要項 にまとまっています。
- 勤務時間と休日
- フレックスタイム制で、コアタイムは10:00～16:00、標準の勤務例は9:00～17:15です。 休日は完全週休2日制（土・日）です。
- 休暇の取りやすさ
- 夏季休暇3日と年末年始休暇6日があり、有給休暇の取得は平均16日です。 2022～2024年度に育休を取った社員の割合は女性100%、男性45%で、育休からの復職率は94%です。 数字で知るワーク・ライフ・バランス に一覧があります。
- 定着と勤続
- 平均勤続年数は12年、入社3年目までの定着率は80%です（2025年3月時点）。 人間ドックは40歳以上が対象です。
- 中途採用
- 正規雇用労働者の中途採用比率は2022年から2024年まで各年100%でした。 会社は、いまは新卒採用にも力を入れているとしています。 キャリア採用 募集要項 で公表しています。
- 研修
- 新入社員研修は入社後2日間＋3か月以内に1～2週間です。 教育・評価制度 に研修の一覧があります。
05勤務地と職種
どこで、どんな仕事をするか
本社は兵庫県尼崎市にあり、新卒の募集職種はすべて本社に配属されます。 工場は大阪市西淀川区と伊丹に、営業拠点は東京・大阪・名古屋・福岡にあります。
主な勤務地・拠点
- 本社
- 兵庫県尼崎市南初島町新卒の全職種の配属先
- 東京支店
- 東京都千代田区東神田新卒では機械設計の配属先
- 営業所
- 大阪営業所（大阪市中央区）、中部営業所（名古屋市中区）、九州営業所（福岡市博多区）
- 工場
- 福町第1工場・福町第2工場（大阪市西淀川区）、伊丹工場
- 海外の関連会社
- 拓許振動制御テクノロジー（大連）、拓許機電科技（上海）、特許機器韓国（ソウル）
仕事の流れに関わる職種
- 営業
- ソリューション
- 設計
- 研究開発
- コーポレート
- 生産
- 品質保証
- エンジニアリング
ヒアリングから調査・提案、設計、生産、品質検査、設置・効果検証、アフターサービスまでを、これらの職種が分担します。
06これから
会社が次に取りにいくもの
次の焦点は、海外の販売・サービス体制と、リニア式や自動調整といった除振装置の新しい技術です。 会社は自社工場の自動化で供給体制も強めるとしています。
これからの材料
- 海外展開
- 大連・上海・韓国に関連会社があります。 会社は展示施設「Study Port」で振動技術を発信していると 早わかり特許機器 で紹介しています。
- 新しい除振技術
- 直近の開発には、リニア式アクティブ除振台、新型コントローラDJ-800、アクティブ除振装置の自動調整機能、新型リニアモータがあります。
- 磁場への対応
- AMC-332は、電子顕微鏡などの電子ビーム応用装置に向けて、磁場変動を逆位相の磁場で打ち消すシステムです。
海外の販売・サービス体制
会社は海外市場への展開を進め、販売・サービス体制の強化に取り組むとしています。 海外の販売代理店は5カ国です。 国内外の研究機関や大学との技術交流も広げるとしています。 海外案件で本社の設計がどこまで関わるかは、面接で聞くと仕事の幅が分かります。
リニア式と自動調整
2022年にリニア式アクティブ除振台を開発し、2023年に新型コントローラDJ-800、2024年にアクティブ除振装置の自動調整機能の販売を始めました。 2025年には新型リニアモータを開発しています。
自社工場の自動化
会社は、自社出資100%の工場で自動化による業務効率化を進め、グローバル市場向けの安定した製品供給体制を強めるとしています。 生産職や生産技術に近い仕事を望むなら、自動化の担当部署を聞くと配属先が見えます。
07入口を選ぶ
専攻から、入口を1つに絞る
機械設計・電気設計・ソフトウェア設計・研究開発のどれを選ぶかは、架台やユニットの機械、センサとコイルの電気、制御プログラムのソフト、新技術の研究のどこで力を出したいかで考えると絞れます。
ソフトウェア設計
配属は本社です。 コントローラー開発の事例では、細かい制御を計算する部分と、外部からの操作やパソコンとの通信の部分を担当者が分担してプログラムを書きました。
- フィードバック制御
- フィードフォワード
- 組込みソフト
- 通信
応募前の2手
- αシリーズ、αL4X-911R2、AMC-332から1つ選び、半導体のどの装置の下で何を抑える製品かをノートに書く
- 募集要項で職種と配属地（本社・東京支店）を確かめ、志望職種と担当したい製品を結び付ける
面接で使う技術語
- 空気ばね
- 固有振動数
- 架台設計
- 除振
- 制振
- センサ
- コントローラー基板
- ヘルムホルツコイル
- 磁場キャンセル
- 電源
新卒の応募資格は、2027年3月末までに国内外の高専・大学・大学院等を卒業・修了する予定の人です。
他社との違いを一言で
- 半導体の製造・検査工程向けアクティブ除振
倉敷化工
倉敷化工は、リニアモーター制御と空圧制御のアクティブ除振ユニットを持ち、液晶・半導体の製造検査工程や電子顕微鏡に採用されています。特許機器は空圧アクティブのαシリーズに加え、電子ビーム装置向けの磁場キャンセラーAMC-332と現場の振動・磁場測定を持ちます。
- パッシブ型とアクティブ型の除振装置
明立精機
明立精機はパッシブ型を中心に、アクティブ型のMiXシリーズも開発し、露光機や半導体・液晶検査装置、電子顕微鏡を用途に挙げています。特許機器はクリーンルームの高剛性架台を設置場所ごとに設計し、施工と検証測定まで行います。
- 除振台
昭和サイエンス
昭和サイエンスはアクティブ除振台、パッシブ除振台、ピット型除振台を製品に並べています。特許機器は精密機器の除振に加え、構造物、設備機器、地震、床衝撃音の振動対策も手がけます。
出典27件
- 公式 会社概要
- 公式 半導体工場・研究施設向け製品
- 公式 ナノテクノロジー対策 製品一覧
- 公式 空圧アクティブ微振動制御ユニット αシリーズ
- 公式 電子顕微鏡用低床アクティブ除振台 αL4X-911R2
- 公式 アクティブ磁場キャンセラー AMC-332
- 公式 高剛性架台
- 公式 大型除振台
ほか19件
- 公式 現場調査測定
- 採用 採用サイト
- 採用 採用サイト 早わかり特許機器
- 採用 採用サイト 特許機器のミッションと強み
- 採用 採用サイト 仕事の流れと職種
- 採用 採用サイト 社員インタビュー
- 採用 採用サイト プロジェクトストーリー 除振装置導入
- 採用 採用サイト プロジェクトストーリー コントローラー開発
- 採用 採用サイト こんなところに特許機器
- 採用 採用サイト 本音を紐解くQ&A
- 採用 採用サイト 数字で知るワーク・ライフ・バランス
- 採用 採用サイト 教育・評価制度
- 採用 2027年新卒 募集要項
- 採用 キャリア採用 募集要項
- 公式 倉敷化工 除振台・ステージ
- 公式 明立精機 公式サイト
- 公式 昭和サイエンス 製品情報
- 公式 company_profile
- 公式 business_or_product